深圳市矩阵多元科技有限公司盛林获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利磁控共溅射设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223016948U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421837085.4，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型磁控共溅射设备是由盛林;张晓军;梁杰华设计研发完成，并于2024-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本磁控共溅射设备在说明书摘要公布了：本申请涉及磁控共溅射设备，主体结构设有真空腔室，基片台设置于真空腔室中；靶可调整地设置于真空腔室中，以调节与基片台的相对方向角，且靶通过靶安装法兰穿过主体结构，用于连接外部电源；其中，靶的数量为至少二个，且磁控共溅射设备于每一靶上设有一靶挡板。通过采用可调整方向的靶配合靶挡板可以实现共溅射，一方面可以将不工作的靶用靶挡板盖住，从而有效地避免了工作的靶与不工作的靶之间交叉污染，进而改善乃至于保证了溅射成膜效果；另一方面靶相对于基片台的方向可调整，因此适合磁控共溅射工艺，提供了溅射成膜的更多工艺选择；再一方面整体结构设计有利于降低腔体加工和焊接角度的难度，且增加了靶的互换性。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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