先微精艺(苏州)科技有限公司王铭志获国家专利权
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龙图腾网获悉先微精艺(苏州)科技有限公司申请的专利适用于晶圆加工的限位调节设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223023258U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421667256.3，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型适用于晶圆加工的限位调节设备是由王铭志;杨万;韩之阳设计研发完成，并于2024-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本适用于晶圆加工的限位调节设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种适用于晶圆加工的限位调节设备，包括有承载基座，承载基座上设置有镜像分布的位移调整装置，位移调整装置上设置有托块，托块上设置有晶圆夹持装置，晶圆夹持装置，包括有上端夹持装置、下端夹持装置，上端夹持装置、下端夹持装置之间设置有平衡调节装置，上端夹持装置、下端夹持装置均设置有转向驱动装置，转向驱动装置上设置有接触头，平衡调节装置配置有自适应调节组件，自适应调节组件上设置有接触头，上端夹持装置、下端夹持装置能够实现晶圆的四点平稳接触限位，且带动晶圆进行旋转，满足加工期间对晶圆的位移调整需要。无须采用托盘配合，不会造成晶圆底部的污染或是接触损耗。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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