中国科学院合肥物质科学研究院穆磊获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院合肥物质科学研究院申请的专利一种辅助石英晶体微天平用于第一壁材料腐蚀研究的套筒获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115824942B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211710733.5,技术领域涉及:G01N17/00;该发明授权一种辅助石英晶体微天平用于第一壁材料腐蚀研究的套筒是由穆磊;刘牛先;丁锐;鄢容;刘玉明;陈俊凌设计研发完成,并于2022-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种辅助石英晶体微天平用于第一壁材料腐蚀研究的套筒在说明书摘要公布了:本发明公开了一种辅助石英晶体微天平用于第一壁材料腐蚀研究的套筒,包括有异内径金属圆筒,绝缘底座和高压电源,异内径金属圆筒嵌入绝缘底座后一起安装在探头表面,并利用高压电源在异内径金属圆筒上维持正偏压。套筒可以在石英晶体前方形成喇叭口结构使得石英晶体表面圆形镀膜区域在等离子体最外闭合磁面上的投影成为规则的近圆形,并减小中性粒子入射石英晶体圆形镀膜区域的通量,同时异内径金属圆筒上的正偏压可以有效阻止杂质离子的入射。本发明的有益效果包括使石英晶体圆形镀膜区域对其在等离子体最外闭合磁面上投影区域的平均固体角的计算简化并精确,延长石英晶体微天平的使用寿命,以及排除杂质沉积的干扰。
本发明授权一种辅助石英晶体微天平用于第一壁材料腐蚀研究的套筒在权利要求书中公布了:1.一种辅助石英晶体微天平用于第一壁材料腐蚀研究的套筒,其特征在于,包括异内径金属圆筒,绝缘底座,高压电源;异内径金属圆筒的参数包括大内径d1,小内径d2以及高度h1,侧面开有4个固定用的螺纹孔和一个接电源线的螺纹孔,绝缘底座为一个同内径绝缘圆筒结构和一个异内径绝缘圆筒结构结合在一起,上方同内径绝缘圆筒结构侧面开有4个固定用通孔,利用螺钉将异内径金属圆筒固定在绝缘底座上,下方异内径绝缘圆筒结构的参数包括大内径d3,小内径d4以及高度h2; 所述绝缘底座下方异内径绝缘圆筒结构的小内径d4等于石英晶体表面圆形镀膜区域的直径; 所述异内径金属圆筒的大内径d1、高度h1和绝缘底座的异内径绝缘圆筒结构的高度h2的比值决定石英晶体上圆形镀膜面积在等离子体最外闭合磁面上投影面积的大小,通过减小所述异内径金属圆筒的大内径d1或者增大高度h1的方式来减小的值,以避开管道对规则的近圆形投影区域的破坏; 所述异内径金属圆筒的小内径d2与绝缘底座中异内径绝缘圆筒结构的大内径d3相等,且与相等。
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