上海现代先进超精密制造中心有限公司蒋泉权获国家专利权
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龙图腾网获悉上海现代先进超精密制造中心有限公司申请的专利反射镜表面结合不同合金改善表面粗糙度的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116103616B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211639123.0，技术领域涉及：C23C14/30；该发明授权反射镜表面结合不同合金改善表面粗糙度的方法是由蒋泉权;莫海亮设计研发完成，并于2022-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本反射镜表面结合不同合金改善表面粗糙度的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及反射镜加工领域。反射镜表面结合不同合金改善表面粗糙度的方法，包括如下步骤：步骤一，粗加工；步骤二，清洁反光镜的表面并保存；步骤三，清洁真空镀膜机；步骤四，将纯度大于99.99％镍和纯度大于99.99％磷分别放入两个不同的坩埚；步骤五，把反射镜悬挂在真空镀膜机内，坩埚摆放在电子束蒸发器上；抽真空并用电子束蒸发器对坩埚进行加热，摆放有镍的坩埚下方的电子束蒸发器的电流为400毫安，摆放有磷的坩埚下方的电子束蒸发器的电流为200毫安；且摆放有镍的坩埚下方的电子束蒸发器与摆放有磷的坩埚下方的电子束蒸发器的工作时长比为9：1；步骤六，磁流变抛光。最终粗糙度Ra小于等于2nm。
本发明授权反射镜表面结合不同合金改善表面粗糙度的方法在权利要求书中公布了：1.反射镜表面结合不同合金改善表面粗糙度的方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤一，反射镜的反射面粗加工面型PV值小于等于1微米，表面粗糙度Ra小于等于10nm； 步骤二，清洁反光镜的表面，并保存； 步骤三，清洁真空镀膜机； 步骤四，将纯度大于99.99％镍和纯度大于99.99％磷分别放入两个不同的坩埚； 步骤五，把反射镜悬挂在真空镀膜机内，坩埚摆放在电子束蒸发器上； 抽真空并用电子束蒸发器对坩埚进行加热，摆放有镍的坩埚下方的电子束蒸发器的电流为400毫安，摆放有磷的坩埚下方的电子束蒸发器的电流为200毫安； 摆放有镍的坩埚下方的电子束蒸发器与摆放有磷的坩埚下方的电子束蒸发器交替工作，且摆放有镍的坩埚下方的电子束蒸发器与摆放有磷的坩埚下方的电子束蒸发器的工作时长比为9：1； 镀层的厚度控制在1-2微米； 步骤六，磁流变抛光，最终粗糙度Ra小于等于2nm。
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