苏州国科医工科技发展(集团)有限公司俞乾获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州国科医工科技发展(集团)有限公司申请的专利一种多轴样品台闭环控制方法、存储介质及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114995296B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210787309.4,技术领域涉及:G05B19/414;该发明授权一种多轴样品台闭环控制方法、存储介质及系统是由俞乾;张秀川;尉东光;于潇;顾国刚;张金鑫;刘宁设计研发完成,并于2022-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多轴样品台闭环控制方法、存储介质及系统在说明书摘要公布了:本发明涉及一种多轴样品台闭环控制方法、存储介质及系统,该方法包括如下步骤:接收上位机下发的指令,解析指令,根据指令解析结果进行运动规划,确定每一轴电机的运动参数;接收并处理所有单轴驱动模块上传的电机运动参数和单轴电机的实时位置,将处理结果上传至上位机;通过位置传感器系统误差标定,导轨误差标定进行运动校正。本发明采用容栅传感器作为位置传感器,与开环控制的多轴样品台相比,可以提高系统的可靠性与控制精度,而系统的成本提高也有限,有利于大规模应用。通过样品台每一轴运动时的位置反馈,补偿由导轨直线度和平行度造成的位置误差,使样品实现更高的位置精度。
本发明授权一种多轴样品台闭环控制方法、存储介质及系统在权利要求书中公布了:1.一种多轴样品台闭环控制方法,其特征在于,包括如下步骤: 接收上位机下发的指令,解析指令,根据指令解析结果进行运动规划,确定每一轴电机的运动参数,将所述运动参数下发至对应的单轴驱动模块; 接收并处理所有单轴驱动模块上传的电机运动参数和单轴电机的实时位置,将处理结果上传至所述上位机; 在使用电镜观察标准样品的情况下,控制电机单轴运动预设距离,读取位置传感器显示的运动距离,执行此操作若干次,读出每次的运动距离,计算位置传感器的平均误差,通过所述平均误差对所述位置传感器进行修正; 将单轴导轨的长度分为若干份,控制电机使单轴从初始位置运动到最大位置,通过修正后的位置传感器测量单轴导轨每一段的实际长度,计算单轴导轨在每一段长度范围内的长度误差; 获取单轴电机需要运动的距离,结合单轴导轨的长度误差,计算出单轴电机实际需要运动的距离并下发至单轴驱动模块。
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