Document
拖动滑块完成拼图
个人中心

预订订单
服务订单
发布专利 发布成果 人才入驻 发布商标 发布需求

在线咨询

联系我们

龙图腾公众号
首页 专利交易 IP管家助手 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索
当前位置 : 首页 > 专利喜报 > 北京北方华创微电子装备有限公司林源为获国家专利权

北京北方华创微电子装备有限公司林源为获国家专利权

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体加工设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114695065B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210333144.3,技术领域涉及:H01J37/32;该发明授权半导体加工设备是由林源为设计研发完成,并于2022-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。

半导体加工设备在说明书摘要公布了:本发明公开一种半导体加工设备,其包括半导体加工设备,其特征在于,包括工艺腔室、上电极射频线圈、下射频电源、下电极组件、电连接件和可调器件,下电极组件包括基座、静电卡盘、第一下电极和第二下电极,静电卡盘位于基座上方用于承载晶圆,第一下电极设置于基座内部且与下射频电源连接,第二下电极环绕且间隔设置于第一下电极之外,工艺腔室的内侧壁通过电连接件与第二下电极电连接,以使上电极射频线圈在工艺腔室的内侧壁产生的耦合电流通入第二下电极,可调器件用于调节工艺腔室的内侧壁通入第二下电极的耦合电流的大小。上述技术方案可以调节晶圆的边缘区域和中心区域的被加工速率,提升晶圆的均匀性。

本发明授权半导体加工设备在权利要求书中公布了:1.一种半导体加工设备,其特征在于,包括工艺腔室、上电极射频线圈、下射频电源、下电极组件、电连接件和可调器件,所述下电极组件包括基座、静电卡盘、第一下电极和第二下电极,所述静电卡盘位于所述基座上方用于承载晶圆,所述第一下电极设置于所述基座内部且与所述下射频电源连接,所述第二下电极环绕且间隔设置于所述第一下电极之外,所述工艺腔室的内侧壁通过所述电连接件与所述第二下电极电连接,以使所述上电极射频线圈在所述工艺腔室的内侧壁产生的耦合电流通入所述第二下电极,所述可调器件用于调节所述工艺腔室的内侧壁通入所述第二下电极的耦合电流的大小。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司,其通讯地址为:100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。