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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利射频电源的校准装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114487984B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210236844.0，技术领域涉及：G01R35/04；该发明授权射频电源的校准装置及方法是由乔世波;陈虹;贾文华设计研发完成，并于2022-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本射频电源的校准装置及方法在说明书摘要公布了：本申请公开了射频电源的校准装置及方法，用以解决射频电源中功率测量电路的测量精度低的问题。该装置包括射频功率测量电路、控制器、电压补偿器和参数调节器；射频功率测量电路包括依次连接的测量电路、乘法器和运放器；控制器分别与电压补偿器和参数调节器连接，用于控制电压补偿器输出电压补偿值以及控制参数调节器的参数值；电压补偿器与乘法器连接，用于向乘法器提供电压补偿值；参数调节器连接至运放器，用于通过调整参数值校准运放器的输出功率值。该装置减小了测量电路中由乘法器和集成运放器的偏置电压所带来的测量误差，且实现了对射频功率测量电路输出值的实时动态校准效果，提高了射频电源输出功率的精度。

本发明授权射频电源的校准装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种射频电源的校准装置，其特征在于，所述装置包括射频功率测量电路、控制器、电压补偿器和参数调节器；所述射频功率测量电路包括依次连接的测量电路、乘法器和运放器；所述控制器分别与所述电压补偿器和参数调节器连接，所述电压补偿器与所述乘法器连接，所述参数调节器连接至所述运放器的输入端； 所述控制器，用于控制所述电压补偿器输出电压补偿值，所述电压补偿值为目标电压补偿值，以使所述校准装置在待机状态时，所述射频功率测量电路的电压输出值为零；根据所述射频功率测量电路的目标输出功率值控制所述参数调节器的参数值，以使所述射频功率测量电路的实际输出功率值被校准为所述目标输出功率值；所述根据所述射频功率测量电路的目标输出功率值控制所述参数调节器的参数值包括：根据所述参数调节器的参数值和所述射频功率测量电路的输出功率值之间的校准关系，确定所述目标输出功率值对应的目标参数值；控制所述参数调节器的参数值为所述目标参数值； 所述电压补偿器，用于向所述乘法器提供所述电压补偿值； 所述参数调节器，用于通过调整所述参数值，校准所述运放器的输出功率值。

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