买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉盛吉盛半导体科技(北京)有限公司;盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司申请的专利一种前驱体的输运装置以及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114607941B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210216890.4，技术领域涉及：F17D1/08；该发明授权一种前驱体的输运装置以及半导体设备是由项习飞;田才忠;余先炜;王美玲设计研发完成，并于2022-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种前驱体的输运装置以及半导体设备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种前驱体的输运装置以及半导体设备，其中，前驱体的输运装置包括液体输送部、汽化装置以及第一管路，其中，液体输送部用于输送前驱体，汽化装置用于将前驱体汽化，液体输送部与汽化装置的输入端连接，汽化装置的输出端通过第一管路连通至反应腔室的上盖板上的进气口，汽化装置与上盖板的相对位置保持不变。本发明能够降低前驱体蒸汽发生冷凝的风险，同时降低蒸汽管路暴露于大气所导致的被污染的风险。

本发明授权一种前驱体的输运装置以及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种前驱体的输运装置，其特征在于，包括液体输送部、汽化装置以及第一管路，其中，所述液体输送部用于输送所述前驱体，所述汽化装置用于将所述前驱体汽化，所述液体输送部与所述汽化装置的输入端连接，所述汽化装置的输出端通过所述第一管路连通至反应腔室的上盖板上的进气口，所述汽化装置与所述上盖板固定连接； 所述第一管路为刚性连接管路，所述第一管路的第一端与所述汽化装置的输出端连通，所述第一管路的第二端与上盖板上的进气口连通； 所述汽化装置、所述第一管路和所述上盖板的相对位置不变，且所述汽化装置和所述第一管路的位置随所述上盖板打开或者关闭而与所述上盖板的位置一起改变； 所述汽化装置设置于上盖板的上方或设置在与上盖板的上表面齐平的位置； 所述液体输送部包括第二管路，所述第二管路与所述汽化装置的输入端连接； 所述第二管路为柔性连接管路，包括柔性双套管、保护层以及连接接头，所述柔性双套管包括内管、外管以及所述内管和所述外管之间的夹层，所述内管用于运输所述前驱体，所述保护层套置在所述外管上，所述连接接头的第一端设置在所述夹层内； 所述液体输送部还包括第三管路，所述连接接头的第二端通过所述第三管路连通至真空系统。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人盛吉盛半导体科技(北京)有限公司;盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司，其通讯地址为：102600 北京市大兴区北京经济技术开发区荣华南路15号院2号楼7层703室（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团）；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。