恭喜罗门哈斯电子材料有限责任公司A·M·里夫希茨阿莱比奥获国家专利权
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龙图腾网恭喜罗门哈斯电子材料有限责任公司申请的专利通过各向异性铜电镀改善光刻胶分辨能力获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114717615B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210014611.6,技术领域涉及:C25D3/38;该发明授权通过各向异性铜电镀改善光刻胶分辨能力是由A·M·里夫希茨阿莱比奥;A·杰林斯基;S·汉莫迪;J·F·拉霍夫斯基;M·K·加拉格尔;C·威廉姆森;J·D·普朗格设计研发完成,并于2022-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本通过各向异性铜电镀改善光刻胶分辨能力在说明书摘要公布了:基材的特征是通过一种方法电镀的铜,所述方法包括用铜电镀组合物铜电镀选择性沉积的籽晶层或光刻胶限定特征的籽晶层,所述铜电镀组合物含有能够各向异性镀覆的选择性抑制剂化合物和选择性整平剂化合物。任选地,可以在铜电镀之前用含硫促进剂的水溶液处理所述籽晶层。
本发明授权通过各向异性铜电镀改善光刻胶分辨能力在权利要求书中公布了:1.一种方法,其包括: a提供包含籽晶层的基材; b将包含含硫促进剂的水性处理溶液选择性地施用至所述籽晶层,其中所述水性处理溶液的pH是低于3或高于9; c提供铜电镀组合物,其包含铜离子源、促进剂、酸、氯化物源、在所述铜电镀组合物在工作电极上的伏安图的阴极波中产生α-峰曲线的抑制剂和整平剂,其中所述整平剂是咪唑、丁基二缩水甘油醚与苯基咪唑的反应产物的共聚物, 所述抑制剂包括具有1000-6000gmol的重均分子量的聚乙二醇、或具有1000-5000gmol的重均分子量的EOPO嵌段共聚物、或具有1000-5000gmol的重均分子量的EOPO无规共聚物或重均分子量为1000-10000gmol的二胺核EOPO嵌段共聚物; d使包含所述籽晶层的所述基材与所述铜电镀组合物接触;以及 e在所述基材的所述籽晶层上各向异性地电镀铜。
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