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龙图腾网恭喜河南通用智能装备有限公司申请的专利一种易换型高精度晶圆载台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114400202B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111662955.X，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种易换型高精度晶圆载台是由闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊设计研发完成，并于2021-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种易换型高精度晶圆载台在说明书摘要公布了：一种易换型高精度硅晶圆载台，所述载台包括在基座以及通过真空吸附设置在所述基座上的载盘，所述基座和载盘之间通过定位销定位；所述载台内设置至少一个环形的用于吸附所述基座和所述载盘的真空通道。相对于现有技术，载盘上表面采用多孔陶瓷精度高吸附性好。基座和载盘通过真空吸附固定、加工其他尺寸晶圆只需更换对应载盘，而且更换载盘方便。本发明的载盘的载盘真空通道设置均布的主气路和分支气路；每个主气路都连通各自的真空管路。另外，本发明中主气路的深度大于分支气路的深度，在相同的时间内，主气路和分支气路内产生的负压大致相等或者差值变小。吸附过程中，所述载盘位置稳定，精度高。

本发明授权一种易换型高精度晶圆载台在权利要求书中公布了：1.一种易换型高精度硅晶圆载台，其特征在于：所述载台包括在基座以及通过真空吸附设置在所述基座上的载盘，所述基座和载盘之间通过定位销定位；所述载台内设置环形的用于吸附所述基座和所述载盘的真空通道，所述载台内位于所述真空通道中心区域还设置真空气腔，所述载盘上端设置多孔陶瓷层，所述真空气腔上端与所述多孔陶瓷连通；所述真空通道和所述真空气腔的下端分别通过管道连通设置在基座底部的主真空口和从真空口； 所述载台内设置至少两个同圆心的真空通道，所述真空气腔的截面形状为圆形，所述真空气腔和所述真空通道同轴设置；所述真空通道和所述真空气腔不连通； 所述载盘下表面位于所述载盘真空通道的中心区域还设置载盘真空气腔；所述载盘下端设置定位孔； 所述载盘下表面设置至少2个环形载盘真空通道；所述载盘真空通道之间通过沿着射线方向设置的主气路连通；所述载盘真空通道上沿圆周均布若干主气路；所述主气路将环形的所述载盘真空通道分割成了若干圆弧形状的分支气路；所述主气路的深度大于所述分支气路的深度；所述主气路宽度等于所述分支气路的宽度；所述基座上对应所述主气路的位置设置主真空管路连通所述主真空口；所述基座上对应所述载盘真空气腔的位置设置从真空管道连通所述从真空口； 所述基座上表面对应每个所述载盘真空通道设置对应的环形的基座真空通道，所述主真空管路包括基座内部对应每个所述主气路的位置分别设置的横向真空管道；所述横向真空管道通过纵向真空管道与所述基座真空通道连通；每个所述横向真空管道都连通纵向的总真空管道，总真空管路连通所述主真空口；所述基座上表面位于所述基座真空通道的中心区域还设置基座真空气腔；所述基座真空气腔的位置与所述载盘真空气腔的位置对应；所述基座真空气腔通过从真空管道直通所述从真空口；所述基座上也设置有定位孔；所述主气路上靠近所述载盘真空气腔的一端的深度大于远离所述载盘真空气腔的一端的深度；所述分支气路从靠近所述主气路的一端到中间位置，所述分支气路的深度逐渐变小。

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