恭喜硅密(常州)电子设备有限公司卡尔·罗伯特·休斯特获国家专利权
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龙图腾网恭喜硅密(常州)电子设备有限公司申请的专利一种可自动拆换的硅晶片清洗装置及清洗方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114334735B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111644922.2,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种可自动拆换的硅晶片清洗装置及清洗方法是由卡尔·罗伯特·休斯特设计研发完成,并于2021-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可自动拆换的硅晶片清洗装置及清洗方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种可自动拆换的硅晶片清洗装置,包括承载架、清洗池组件、调节组件以及清洗组件,承载架中设置有若干容置空腔,清洗池组件包括对应容置空腔中的处理框以及设置在承载架上的控制件,容置空腔的腔壁上设置有位置光栅和读码器,处理框的侧壁上贴设有码片,读码器可读取码片的信息,确认处理框的功能,控制件包括移动架,调节组件包括拉扯柱、盖筒以及升降板,升降板活动安装在移动架上,盖筒安装在移动架上,盖筒可插拔的安装至拉扯柱上,清洗组件包括承载篮,承载篮可携带硅晶片进入处理框内,处理框被移动架和调节组件按照硅晶片清洗工艺自动排布,可减少清洗溶液的准备时间,提高硅晶片的清洗效率。
本发明授权一种可自动拆换的硅晶片清洗装置及清洗方法在权利要求书中公布了:1.一种可自动拆换的硅晶片清洗装置,其特征在于:包括承载架、安装在所述承载架中的清洗池组件、调节所述清洗池组件的调节组件以及可伸入所述清洗池组件中的清洗组件,所述承载架中设置有若干并列的容置空腔,所述清洗池组件包括对应所述容置空腔中的处理框以及设置在所述承载架上的控制件,所述容置空腔的腔壁上设置有位置光栅和读码器,所述处理框的侧壁上贴设有码片,所述读码器读取所述码片的信息,确认所述处理框的功能,所述控制件包括沿所述承载架移动的移动架,所述调节组件包括安装在所述处理框上内的拉扯柱、对应所述拉扯柱设置的盖筒以及升降板,所述升降板活动安装在所述移动架上,所述盖筒安装在所述移动架上,所述升降板在所述移动架上移动后,所述盖筒可插拔的安装至所述拉扯柱上,所述清洗组件包括可移动的安装在所述移动架上的承载篮,所述承载篮携带硅晶片进入所述处理框内。
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