恭喜明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司;明石创新产业技术研究院有限公司高峰获国家专利权
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龙图腾网恭喜明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司;明石创新产业技术研究院有限公司申请的专利一种基于MEMS的双梁式微压感测芯体及其制备工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114275731B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111560497.9，技术领域涉及：B81B3/00；该发明授权一种基于MEMS的双梁式微压感测芯体及其制备工艺是由高峰;卜献宝;赵恺;曹凯聪;胡振朋设计研发完成，并于2021-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于MEMS的双梁式微压感测芯体及其制备工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于MEMS的双梁式微压感测芯体，包括压力感测芯体和金属焊盘、互联引线、压阻条、敏感薄膜、钝化层、绝缘层、背腔、支撑基底支撑，压力感测芯体上除了用于后续引线键合的金属焊盘区域外，其余均被表面钝化层覆盖，金属焊盘与互联引线将四个压阻条以开环的惠斯通形式连接起来，压阻条包括横向压阻条与纵向压阻条，被布置在敏感薄膜的应力集中区域，敏感薄膜悬空于背腔之上且通过支撑基底支撑。本发明涉及一种基于MEMS的双梁式微压感测芯体及其制备工艺，所述的凸起梁和中心块结构避免了在微压领域灵敏度和线性度不可兼顾不足，而且所述的制备工艺可以提高晶圆的利用率。
本发明授权一种基于MEMS的双梁式微压感测芯体及其制备工艺在权利要求书中公布了：1.一种基于MEMS的双梁式微压感测芯体，包括压力感测芯体（1）和金属焊盘（2）、互联引线（3）、压阻条（4）、敏感薄膜（8）、钝化层（9）、绝缘层（10）、背腔（11）、支撑基底支撑（12），其特征在于：所述压力感测芯体（1）上除了用于后续引线键合的金属焊盘（2）区域外，其余均被表面钝化层（9）覆盖，金属焊盘（2）与互联引线（3）将四个压阻条（4）以开环的惠斯通形式连接起来，所述压阻条（4）包括横向压阻条（4-1）与纵向压阻条（4-2），被布置在敏感薄膜（8）的应力集中区域，敏感薄膜（8）悬空于背腔（11）之上且通过支撑基底支撑（12），压阻条（4）与互联引线（3）之间除了触点位置外，其余均被绝缘层（10）隔开，敏感薄膜（8）上有通过刻蚀形成的凹槽（7）、凸起中心块（5）和双梁式结构（6）。
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