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恭喜苏州迈为科技股份有限公司王正根获国家专利权

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龙图腾网恭喜苏州迈为科技股份有限公司申请的专利对位合成系统及对位合成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113937046B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111065573.9,技术领域涉及:H01L21/68;该发明授权对位合成系统及对位合成方法是由王正根;张延凯;吴超进设计研发完成,并于2021-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。

对位合成系统及对位合成方法在说明书摘要公布了:本申请实施例提供了一种对位合成系统及对位合成方法,对位合成系统的移动组件用于将第一晶元单元RRR移动至激光工作模组,吸附台用于将第一晶元单元RRR吸附,并将空白的第四晶元单元WWW移动至吸附台的下方,以使得第一晶元单元RRR与第四晶元单元WWW对位合成第一中间晶元单元RWW;移动组件将第二晶元单元GGG移动至激光工作模组,吸附台将第二晶元单元GGG吸附,以使得第二晶元单元GGG与第一中间晶元单元RWW对位合成第二中间单元RGW;移动组件还用于将第三晶元单元BBB移动至激光工作模组,吸附台将第三晶元单元BBB吸附,以使第三晶元单元BBB与第二中间单元RGW对位合成LED晶元单元RGB。实现了MicroLED加工工艺中LED晶元单元的巨量转移合成过程的对位准确性和全自动化程度。

本发明授权对位合成系统及对位合成方法在权利要求书中公布了:1.一种对位合成系统,其特征在于,用于利用初始晶元单元合成LED晶元单元,其中初始晶元单元包括第一晶元单元RRR、第二晶元单元GGG、第三晶元单元BBB和第四晶元单元WWW,W为空白晶元;所述对位合成系统包括激光工作模组、吸附台以及移动组件;其中, 所述移动组件用于将所述第一晶元单元RRR移动至所述激光工作模组,所述吸附台用于将所述第一晶元单元RRR吸附,并将所述第四晶元单元WWW移动至所述吸附台的下方,以使得所述第一晶元单元RRR与所述第四晶元单元WWW对位合成第一中间晶元单元RWW; 所述移动组件还用于将所述第二晶元单元GGG移动至所述激光工作模组,所述吸附台用于将所述第二晶元单元GGG吸附,以使得所述第二晶元单元GGG与所述第一中间晶元单元RWW对位合成第二中间单元RGW; 所述移动组件还用于将所述第三晶元单元BBB移动至所述激光工作模组,所述吸附台用于将所述第三晶元单元BBB吸附,以使所述第三晶元单元BBB与所述第二中间单元RGW对位合成LED晶元单元RGB; 所述对位合成系统还包括机械手,沿作业流向设置于左侧的第一左侧载台、第二左侧载台、左预校载台、左预校模组、左上下料模组和左料盒切换模组,以及沿作业流向对称设置于右侧的第一右侧载台、第二右侧载台、右预校载台、右预校模组、右上下料模组和右料盒切换模组,其中,所述第一左侧载台和所述第一右侧载台设置于靠近所述激光工作模组的一端,所述左料盒切换模组和所述右料盒切换模组设置于远离所述激光工作模组的一端; 其中,所述左预校载台和所述右预校载台用于承载晶元;所述左预校模组和所述右预校模组用于分别对所述左预校载台和所述右预校载台上的晶元进行预校对位;所述左上下料模组和所述右上下料模组用于分别取出所述左料盒切换模组和所述右料盒切换模组内的晶元,所述左料盒切换模组和所述右料盒切换模组能够升降和左右移动,用于通过升降和左右切换来选择所述左上下料模组和所述右上下料模组的取料位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州迈为科技股份有限公司,其通讯地址为:215200 江苏省苏州市吴江区芦荡路228号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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