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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利用于半导体设备的前驱体物供应装置、供应方法及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115679297B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110872836.0，技术领域涉及：C23C16/52；该发明授权用于半导体设备的前驱体物供应装置、供应方法及设备是由史晶设计研发完成，并于2021-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于半导体设备的前驱体物供应装置、供应方法及设备在说明书摘要公布了：本发明公开一种用于半导体设备的前驱体物供应装置、供应方法及设备，其中供应装置包括：前驱体物容器，前驱体物容器内包括相互隔离设置的前驱体物供应区和前驱体物补充区，前驱体物补充区和前驱体物供应区均用于容纳液态前驱体物；液压监测系统，液压监测系统用于实时监测并显示前驱体物供应区内的液态前驱体物的液压；补液系统，补液系统用于根据液压监测系统监测的前驱体物供应区内的液态前驱体物的液压，将前驱体物补充区内的液态前驱体物输送至前驱体物供应区。本装置保证了前驱体物的稳定充足供应，提高了前驱体物的利用率，提高了薄膜的沉积质量。

本发明授权用于半导体设备的前驱体物供应装置、供应方法及设备在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体设备的前驱体物供应装置，其特征在于，包括： 前驱体物容器，所述前驱体物容器内包括相互隔离设置的前驱体物供应区和前驱体物补充区，所述前驱体物补充区和所述前驱体物供应区均用于容纳液态前驱体物； 液压监测系统，所述液压监测系统用于实时监测并显示所述前驱体物供应区内的所述液态前驱体物的液压； 补液系统，所述补液系统用于根据所述液压监测系统监测的所述前驱体物供应区内的所述液态前驱体物的液压，将所述前驱体物补充区内的所述液态前驱体物输送至所述前驱体物供应区； 所述前驱体物供应区与所述前驱体物补充区通过阻隔壁相互隔离，所述阻隔壁设置在所述前驱体物容器的底壁上，且所述阻隔壁的高度低于前驱体物容器的外壁；通过调节所述阻隔壁在所述底壁上的位置，以调节所述前驱体物供应区与所述前驱体物补充区的相对比例； 所述供应装置还包括前驱体物供应管路，所述前驱体物供应管路的一端连接于所述前驱体物容器，所述前驱体物补充区位于所述前驱体物供应管路入口端的下方。

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