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龙图腾网恭喜苏州纳维科技有限公司申请的专利一种用于深紫外激光的图形化蓝宝石能量衰减片获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113485021B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110838752.5，技术领域涉及：G02B27/14；该发明授权一种用于深紫外激光的图形化蓝宝石能量衰减片是由徐琳;蔡德敏;沈振华设计研发完成，并于2021-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于深紫外激光的图形化蓝宝石能量衰减片在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于深紫外激光的图形化蓝宝石能量衰减片，包括蓝宝石基片，该蓝宝石基片的一面设有图形结构；该图形结构是将蓝宝石平片的一面经过刻蚀形成；该图形结构包括周期性排列的若干个圆锥形凸起以及位于圆锥形凸起之间的平面区；圆锥形凸起对经由蓝宝石基片垂直入射的深紫外激光进行全反射，平面区对经由蓝宝石基片垂直入射的深紫外激光进行透射。该图形化蓝宝石能量衰减片化学性能稳定，机械强度高，易于处理和清洗，使用寿命长，且可用于高温高压等特殊环境，能够实现对深紫外激光能量的定量衰减。

本发明授权一种用于深紫外激光的图形化蓝宝石能量衰减片在权利要求书中公布了：1.一种用于深紫外激光的图形化蓝宝石能量衰减片，其特征在于：包括蓝宝石基片，该蓝宝石基片的一面设有图形结构；该图形结构是将蓝宝石平片的一面经过刻蚀形成；该图形结构包括周期性排列的若干个圆锥形凸起以及位于圆锥形凸起之间的平面区；圆锥形凸起对经由蓝宝石基片垂直入射的深紫外激光进行全反射，平面区对经由蓝宝石基片垂直入射的深紫外激光进行透射；圆锥形凸起和位于圆锥形凸起之间的平面区配合获得衰减片的特定透射率，以获得对深紫外激光的定量衰减；圆锥形凸起的母线长度L满足以下条件：（d2）L≤sin90°－arcsin1）），其中，n为蓝宝石的折射率，d为圆锥形凸起的底面直径；圆锥形凸起的底面直径由式（1）确定： （1）， 该式（1）中，D为相邻两个圆锥形凸起之间的距离，T为图形化蓝宝石能量衰减片的设定透射率，ΔT为图形化蓝宝石能量衰减片的设定透射率的容忍偏差值； 相邻两个圆锥形凸起之间的距离D为1μm~100μm； 圆锥形凸起的高度不高于80μm。

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