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龙图腾网恭喜江苏芯格诺电子科技有限公司申请的专利一种新型离子注入机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114743852B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110802220.6，技术领域涉及：H01J37/317；该发明授权一种新型离子注入机是由郏金鹏;张苏设计研发完成，并于2021-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种新型离子注入机在说明书摘要公布了：本发明涉及一种新型离子注入机，属于一种曝光辅助装置技术领域。包括支撑部、离子注入机、导向组件、清洁系统；离子注入机一端设有发射枪，发射枪与离子注入机之间通过设有传输管相连接，导向组件包括第一支撑框体、金属反射板，金属反射板与第一支撑框体之间通过设有第一连接杆、第二连接杆相连接，第二连接杆与金属反射板滑动连接，第二连接杆与第一支撑框体之间通过设有连接组件相连接，第一支撑框体一端设有第一开口，传输管为浮动式传输管，传输管包括第一导管、第二导管，离子注入机内设有电弧室。本发明提供一种新型离子注入机，能够将金属反射板角度进行调节，可降低浮动管的损坏，还能延长离子注入机的寿命，减少离子源维护的次数。

本发明授权一种新型离子注入机在权利要求书中公布了：1.一种新型离子注入机，其特征在于：包括支撑部、离子注入机（1）、导向组件、清洁系统；所述离子注入机（1）位于支撑部上，所述离子注入机（1）一端设有发射枪（2），所述发射枪（2）与离子注入机（1）之间通过设有传输管（3）相连接，所述导向组件位于支撑部一端，所述导向组件包括第一支撑框体（4）、金属反射板（5），所述金属反射板（5）与第一支撑框体（4）之间通过设有第一连接杆（6）、第二连接杆（7）相连接，所述第二连接杆（7）与金属反射板（5）滑动连接，所述第二连接杆（7）与第一支撑框体（4）之间通过设有连接组件相连接，所述连接组件包括第一滑动杆（8）、第二滑动杆（9），所述第一滑动杆（8）、第二滑动杆（9）分别与第一支撑框体（4）、第二连接杆（7）相连接，所述第一滑动杆（8）、第二滑动杆（9）之间通过转盘（10）相连接，所述第一支撑框体（4）一端设有与发射枪（2）相对应的第一开口（11），所述传输管（3）为浮动式传输管，所述传输管（3）包括第一导管（12）、第二导管（13），所述第二导管（13）位于第一导管（12）内部，所述第二导管（13）与第一导管（12）两端通过设有弹簧（14）相连接，所述离子注入机（1）内设有与清洁系统相对应的电弧室； 所述清洁系统将掺杂气体引入所述电弧室内，所述掺杂气体至少包括第一元素，所述第一元素在电离条件下可以与所述电弧室及组件表面的材料发生反应并生成气体化合物，且生成的所述气体化合物受热易分解，所述在将掺杂气体引入电弧室发同时引入清洗气体，所述清洗气体至少包括第二元素，所述第二元素适于阻止所述第一元素在电离条件下与所述电弧室及组件表面材料发生反应； 所述金属反射板（5）位于第一开口（11）上下两端，所述第一连接杆（6）与金属反射板（5）铰接，所述金属反射板（5）上设有与第二连接杆（7）相对应的滑槽，所述第二连接杆（7）与滑槽滑动连接。

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