恭喜荣昌化学制品株式会社李昇勋获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜荣昌化学制品株式会社申请的专利用于调节氮化钛膜对钨膜的蚀刻选择比的蚀刻液组合物及利用其的蚀刻方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116057151B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180057994.9，技术领域涉及：C09K13/06；该发明授权用于调节氮化钛膜对钨膜的蚀刻选择比的蚀刻液组合物及利用其的蚀刻方法是由李昇勋;李昇炫;金胜焕;陈昇吾设计研发完成，并于2021-07-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于调节氮化钛膜对钨膜的蚀刻选择比的蚀刻液组合物及利用其的蚀刻方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种能够调节氮化钛膜对钨膜的蚀刻选择比的蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法。所述蚀刻用组合物包括无机酸、氧化剂、由化学式1表示的添加剂、及余量的水，其表现出以下显著效果：根据半导体制造工艺的各种湿式蚀刻工艺，能够显著快的维持氮化钛膜的蚀刻速度，与此同时，能够将氮化钛膜对钨膜的蚀刻选择比调节为1至15而使用。
本发明授权用于调节氮化钛膜对钨膜的蚀刻选择比的蚀刻液组合物及利用其的蚀刻方法在权利要求书中公布了：1.一种蚀刻液组合物，其中，该组合物由下述成分组成： a相对于蚀刻液组合物的总重量的81至95重量％的无机酸，所述无机酸是选自由硫酸、磷酸或它们的混合物所构成的群组中的任意一种； b相对于蚀刻液组合物的总重量的0.1至3重量％的氧化剂，所述氧化剂是选自由过氧化氢、硝酸、叔丁基过氧化氢及2-丁烷过氧化物所构成的群组中的一种； c相对于蚀刻液组合物的总重量的0.002至0.05重量％的添加剂，所述添加剂是十二烷基三甲基硫酸铵；及 d余量的水， e氮化钛膜对钨膜的蚀刻选择比为11.7至14.5。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人荣昌化学制品株式会社，其通讯地址为：韩国庆尚北道；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号