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龙图腾网恭喜中国地震局地球物理研究所;北京艺锦科技有限公司申请的专利一种低噪电容式MEMS加速度传感器及降噪方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113125803B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110462260.0，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权一种低噪电容式MEMS加速度传感器及降噪方法是由彭朝勇;杨建思;陈安富;郑钰;徐志强;谷红岩;赵明远;姜旭东设计研发完成，并于2021-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种低噪电容式MEMS加速度传感器及降噪方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种低噪电容式MEMS加速度传感器，包括三分向信号调理单元和由若干个传感器单元并联组成的传感器组，所述传感器组的三分向信号输出端对应地连接所述三分向信号调理单元；本发明还提出一种基于电容式MEMS加速度传感器的降噪方法，取若干传感器单元并联组成传感器组；取一个三分向信号调理单元，并将所述三分向信号调理单元对应地连接所述传感器组的三分向信号输出端。本发明的技术方案从一定程度上达到用户所需求的MEMS加速度传感器降噪水平，产品价格相对于直接选用噪声水平相当的MEMS加速度传感器大幅降低。

本发明授权一种低噪电容式MEMS加速度传感器及降噪方法在权利要求书中公布了：1.一种低噪电容式MEMS加速度传感器，其特征在于，包括三分向信号调理单元和由若干个传感器单元并联组成的传感器组，所述传感器组的三分向信号输出端对应地连接所述三分向信号调理单元，多个传感器单元被布设成矩形阵列或环形阵列；每个所述传感器单元包括一个电容式MEMS加速度传感器、一个供电滤波电路和一个带宽调理电路，所述供电滤波电路包括与供电端连接的电感，所述电感的另一端连接所述加速度传感器的电压输入端；所述供电滤波电路还包括一个与所述电感串接的电容，所述电容另一端接地且与所述加速度传感器并联，所述带宽调理电路包括三分向缓冲器和选频电容组，每个所述加速度传感器的三分向信号输出端分别连接一个所述选频电容的一端并对应地串接所述三分向缓冲器输入端；所有所述选频电容末端信号接地；所有所述三分向缓冲器的输出端对应地连接所述传感器组的三分向信号输出端，所述三分向信号调理单元包括三分向运算放大器，所述传感器组的三分向信号输出端分别对应地连接所述三分向运算放大器的输入端。

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