恭喜浜松光子学株式会社土屋贵裕获国家专利权
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龙图腾网恭喜浜松光子学株式会社申请的专利静电吸附装置用电源、静电吸附装置及脱离吸附控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115210858B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080097843.1，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权静电吸附装置用电源、静电吸附装置及脱离吸附控制方法是由土屋贵裕设计研发完成，并于2020-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电吸附装置用电源、静电吸附装置及脱离吸附控制方法在说明书摘要公布了：本发明的静电吸附装置1具备：电压施加部3，其对第1电极5及第2电极6施加被保持物K脱离吸附时使用的脱离吸附电压，脱离吸附电压由以第1波形W1施加于第1电极5的第1交流电压Va1、及以与第1波形W1具有相位差的第2波形W2施加于第2电极6的第2交流电压Va2构成，该静电吸附装置具有信息输出部，其输出第1波形W1与第2波形W2交叉的时序的相关信息，电压施加部3基于信息，停止对第1电极5及第2电极6的脱离吸附电压的施加。
本发明授权静电吸附装置用电源、静电吸附装置及脱离吸附控制方法在权利要求书中公布了：1.一种静电吸附装置用电源，其中， 具备：电压施加部，其对第1电极及第2电极施加被保持物脱离吸附时使用的脱离吸附电压， 所述脱离吸附电压由以第1波形施加于所述第1电极的第1交流电压、及以与所述第1波形具有相位差的第2波形施加于所述第2电极的第2交流电压构成， 所述静电吸附装置用电源具有：信息输出部，其输出所述第1波形与所述第2波形交叉的时序的相关信息， 所述电压施加部基于所述信息，停止对所述第1电极及所述第2电极的所述脱离吸附电压的施加。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浜松光子学株式会社，其通讯地址为：日本静冈县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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