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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置和基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114762086B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080082366.1，技术领域涉及：H01L21/304；该发明授权基板处理装置和基板处理方法是由后藤修平;金子知广;松本丈志设计研发完成，并于2020-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置和基板处理方法在说明书摘要公布了：本公开的一个方式的基板处理装置1具备控制部61，所述控制部61并行地执行第一制程和第二制程，所述第一制程和第二制程是包括从交接部14向液处理部17搬送基板的第一搬送处理、通过液处理部17进行的液处理、从液处理部17向干燥处理部18搬送基板的第二搬送处理以及通过干燥处理部18进行的干燥处理的两个制程，其中，至少液处理及干燥处理的处理时间在所述第一制程和与第二制程中互不相同。当在执行针对多个基板中的第一基板的第一制程的期间开始执行针对多个基板中的第二基板的第二制程的情况下，控制部61以使针对第一基板的第二搬送处理的期间与针对第二基板的第二搬送处理的期间不重叠的方式决定针对第二基板的第一搬送处理的开始定时。

本发明授权基板处理装置和基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，具备： 交接部，其能够收容多个基板； 多个液处理部，所述多个液处理部用于在所述基板的表面形成液膜； 多个干燥处理部，所述多个干燥处理部使在所述表面形成有液膜的所述基板与超临界流体接触来使所述基板干燥； 搬送部，其进行所述基板的搬送；以及 控制部，其通过控制所述交接部、所述多个液处理部、所述多个干燥处理部以及所述搬送部，来并行地执行第一制程和第二制程，所述第一制程和所述第二制程是包括从所述交接部向所述液处理部搬送所述基板的第一搬送处理、通过所述液处理部进行的液处理、从所述液处理部向所述干燥处理部搬送所述基板的第二搬送处理以及通过所述干燥处理部进行的干燥处理的两个制程，至少所述液处理及所述干燥处理的处理时间在所述第一制程与所述第二制程中互不相同， 其中，当在执行针对所述多个基板中的第一基板的所述第一制程的期间开始执行针对所述多个基板中的第二基板的所述第二制程的情况下，所述控制部以使针对所述第一基板的所述第二搬送处理的期间与针对所述第二基板的所述第二搬送处理的期间不重叠的方式决定针对所述第二基板的所述第一搬送处理的开始定时，由此抑制针对液处理后的所述第一基板产生待机时间， 当在假定为开始了针对所述第二基板的所述第一搬送处理的情况下预计出的开始针对所述第二基板的所述第二搬送处理的开始定时与针对所述第一基板的所述第二搬送处理的开始定时之间的间隔小于预先设定的间隔时间的情况下，所述控制部使针对所述第二基板的所述第一搬送处理在使所述间隔成为所述间隔时间以上的定时开始。

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