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恭喜株式会社迪思科斋藤良信获国家专利权

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龙图腾网恭喜株式会社迪思科申请的专利树脂片固定装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112768396B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011186776.9,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权树脂片固定装置是由斋藤良信设计研发完成,并于2020-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。

树脂片固定装置在说明书摘要公布了:本发明提供树脂片固定装置。使树脂片固定装置小型化。树脂片固定装置的片保持单元包含:珀尔帖元件,其与片保持工作台的片保持面平行并且具有靠近该片保持面的上表面和远离该片保持面的下表面;直流电源,其向该珀尔帖元件提供直流电流;以及开关,其对提供至该珀尔帖元件的直流电流的方向进行切换。使第1方向的电流在该珀尔帖元件中流动,从而使树脂片软化而热熔接于晶片,对开关进行切换而使第2方向的电流在该珀尔帖元件中流动,从而使片保持面所保持的树脂片硬化而固定于晶片的一个面上。

本发明授权树脂片固定装置在权利要求书中公布了:1.一种树脂片固定装置,其中, 该树脂片固定装置具有: 片保持单元,其包含片保持工作台,该片保持工作台具有对树脂片进行保持的片保持面; 晶片保持工作台,其对晶片进行保持; 上下移动机构,其使该片保持单元和该晶片保持工作台在与该片保持面垂直的上下方向上相对地移动;以及 控制单元,其对该上下移动机构进行控制, 该树脂片在通过被加热软化而热熔接于晶片之后,通过被冷却硬化而固定于晶片, 该片保持单元包含: 珀尔帖元件,其配置于该片保持单元的内部,与该片保持面平行并且具有靠近该片保持面的上表面和远离该片保持面的下表面; 直流电源,其向该珀尔帖元件提供直流电流;以及 开关,其将提供至该珀尔帖元件的该直流电流的方向切换成对该珀尔帖元件的该上表面进行加热的第1方向和与该第1方向为相反方向的对该珀尔帖元件的该上表面进行冷却的第2方向, 该控制单元对该上下移动机构进行控制,一边通过该晶片保持工作台所保持的晶片对该片保持面所保持的该树脂片进行按压,一边对该开关进行控制而使该直流电流在该第1方向上流动,从而对该珀尔帖元件的该上表面进行加热,使该树脂片软化而热熔接在晶片上, 该控制单元对该开关进行控制而使该直流电流在该第2方向上流动,从而对该珀尔帖元件的该上表面进行冷却,使该片保持面所保持的该树脂片硬化而固定于晶片的一个面上, 在通过该晶片保持工作台所保持的晶片的整个一个面对该片保持面所保持的该树脂片进行按压的状态下,实施对该树脂片的加热和冷却。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社迪思科,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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