恭喜矽磐微电子(重庆)有限公司吕光强获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜矽磐微电子(重庆)有限公司申请的专利一种刻蚀设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114334703B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011063042.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种刻蚀设备是由吕光强设计研发完成，并于2020-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种刻蚀设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种刻蚀设备。其包括刻蚀液箱、传送装置及压合装置。其中，刻蚀液箱具有盛放刻蚀液的刻蚀液腔，上端设有与刻蚀液腔连通的刻蚀开口。传送装置能够将待刻蚀的产品传送至刻蚀开口上方。压合装置用于将产品压合于所述刻蚀开口处，压合装置的至少一部分设于所述刻蚀开口正上方以外的区域。上述刻蚀设备，其压合装置的至少一部分设于所述刻蚀开口正上方以外的区域，能够减少甚至避免压合装置运动所产生的尘屑落入刻蚀液腔而污染刻蚀液，且方便检修及维护。另外，该刻蚀设备自身设有传送装置，相较于通过外置装置对产品进行传输，方便产品传送，节省刻蚀所需设备的整体占用空间。
本发明授权一种刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀设备，其特征在于，其包括： 刻蚀液箱，具有盛放刻蚀液的刻蚀液腔，上端设有与所述刻蚀液腔连通的刻蚀开口； 传送装置，能够将待刻蚀的产品传送至所述刻蚀开口上方； 压合装置，所述压合装置包括安装轴及能够移动至所述刻蚀开口上方并能够压合产品的压板，所述压板枢接于所述安装轴，所述安装轴设于所述刻蚀开口正上方以外的区域；所述压板能够压合于放置于所述刻蚀开口上方的产品之上，使得所述产品位于所述刻蚀开口处，所述产品在所述刻蚀开口处能够接触到刻蚀液而被刻蚀。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人矽磐微电子(重庆)有限公司，其通讯地址为：401331 重庆市沙坪坝区西永大道25号C栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号