买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜三星电子株式会社申请的专利晶圆检查设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112420553B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010824509.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆检查设备是由安泰兴;拉辛·爱丽霞·奥克斯特·拿索;具男一;朴秀桓;吴相演设计研发完成，并于2020-08-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆检查设备在说明书摘要公布了：一种晶圆检查设备，包括支撑结构，其包括框架和安装在框架上的真空吸盘，每一个真空吸盘具有包括真空抽吸部分的支撑表面，所述支撑结构被配置为在结构上支撑一个或多个真空吸盘上的晶圆，所述框架限定其面积大于晶圆的面积的开口。所述晶圆检查设备包括：电磁波发射器，其被配置为将检查电磁波辐射到晶圆；传感器，其被配置为基于穿过晶圆的检查电磁波从晶圆接收检查电磁波；以及驱动器，其被配置为移动电磁波发射器和框架中的至少一个，以改变晶圆的辐射位置。每一个真空吸盘被配置为关于框架在第一位置与第二位置之间选择性地可移动。

本发明授权晶圆检查设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检查设备，包括： 支撑结构，其包括框架和多个真空吸盘，所述多个真空吸盘中的每一个真空吸盘安装在所述框架上，并且各自具有包括真空抽吸部分的支撑表面，所述支撑结构被配置为在结构上支撑所述多个真空吸盘中的一个或多个真空吸盘上的晶圆，所述框架限定其面积大于所述晶圆的面积的开口； 电磁波发射器，其被配置为将检查电磁波辐射到所述晶圆； 传感器，其被配置为基于穿过所述晶圆的检查电磁波从所述晶圆接收所述检查电磁波；以及 驱动器，其被配置为移动所述电磁波发射器和所述框架中的至少一个，以改变所述晶圆的辐射位置， 其中，所述多个真空吸盘中的每一个真空吸盘被配置为关于所述框架在第一位置与第二位置之间选择性地可移动， 其中，在所述多个真空吸盘之中，选择性地移动到所述第一位置的第一组真空吸盘被设置为使得所述第一组真空吸盘的支撑表面与其上设置有所述晶圆的平面共面，并且在所述多个真空吸盘之中，选择性地移动到所述第二位置的第二组真空吸盘被设置为偏离所述晶圆与所述电磁波发射器之间的检查电磁波的路径，并且 选择性地移动到所述第二位置的所述第二组真空吸盘中的每一个真空吸盘从所述第一位置竖直向下地翻转或沿着所述框架向下滑动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人三星电子株式会社，其通讯地址为：韩国京畿道；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。