恭喜乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司金大玹获国家专利权
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龙图腾网恭喜乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司申请的专利形成介电膜的方法，新型前体及其在半导体制造中的用途获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115943227B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080103302.5，技术领域涉及：C23C16/34；该发明授权形成介电膜的方法，新型前体及其在半导体制造中的用途是由金大玹;李柱昊;卢沅泰设计研发完成，并于2020-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本形成介电膜的方法，新型前体及其在半导体制造中的用途在说明书摘要公布了：一种含金属成膜组合物，包括具有下式的前体：M＝NR1OR2OR3mL。其中，M＝V或Nb或Ta；R1‑R3＝独立地，H或C1‑C10烷基基团；L＝取代或未取代的环戊二烯、环己二烯、环庚二烯、环辛二烯、芴、茚、稠环体系、丙烯、丁二烯、戊二烯、己二烯、庚二烯；m＝0或1。
本发明授权形成介电膜的方法，新型前体及其在半导体制造中的用途在权利要求书中公布了：1.一种含金属成膜组合物，包括具有下式的前体： 其中，M＝V或Nb或Ta；R1-R3＝独立地，H或C1-C10烷基基团；其中每个R4是H或C1-C10烷基基团或氟基团；n≤5。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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