恭喜科磊股份有限公司M·阿扎里亚获国家专利权
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龙图腾网恭喜科磊股份有限公司申请的专利通过清洁衬底的原位工艺腔室夹具清洁获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113906549B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080040628.8，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权通过清洁衬底的原位工艺腔室夹具清洁是由M·阿扎里亚;G·别利;S·马克;Y·于齐耶尔;A·帕希玛设计研发完成，并于2020-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本通过清洁衬底的原位工艺腔室夹具清洁在说明书摘要公布了：本发明公开一种清洁组合件。所述清洁组合件包含衬底。一或多个图案形成于所述衬底的底侧上。当所述衬底定位于夹具上时，所述一或多个图案内的一或多个结构经由静电吸引或机械捕集中的至少一者从所述夹具吸引一或多个颗粒。
本发明授权通过清洁衬底的原位工艺腔室夹具清洁在权利要求书中公布了：1.一种清洁组合件，其包括： 衬底，其中一或多个图案形成于所述衬底的底侧上，其中当所述衬底定位于导电夹具上时，所述一或多个图案内的一或多个结构经由至少静电吸引从所述导电夹具吸引一或多个颗粒； 一或多个电池；及 导体元件，其附接到所述衬底的顶侧，其中所述一或多个电池电耦合到所述导体元件， 其中所述一或多个电池经配置以在所述导体元件和所述导电夹具之间建立电场，以增强带电颗粒从所述导电夹具的基于静电的吸取。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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