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龙图腾网恭喜华芯(嘉兴)智能装备有限公司申请的专利物料传输设备执行精度判定装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119905434B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510401248.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权物料传输设备执行精度判定装置是由龚昱;余君山;欧阳晓平;王伟忠;贾绍锋设计研发完成，并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本物料传输设备执行精度判定装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体设备技术领域，提供了一种物料传输设备执行精度判定装置，通过在自动物料传输设备运行路段设置定位校台和定位校具并驱动待检测的自动物料传输设备执行物料抓放动作命令并检测定位校具在下放过程中的实际离地高度生成实际离地高度变化曲线L1与所测得的标准离地高度变化曲线L2进行叠加，截取同一时间点下的定位校具下降高度进行分析，判定被检测的自动物料传输设备是否符合使用要求。实现了无人化的自动物料传输设备精度检测，解决了现有的物料传输设备执行精度在进行检测时仍需要人工复验的问题。

本发明授权物料传输设备执行精度判定装置在权利要求书中公布了：1.一种物料传输设备执行精度判定装置，其特征在于，包括： 校验台（2），所述校验台（2）的定位面上放置有校具本体（1），用于供待检测的自动物料传输设备执行抓取和下放动作，且所述校验台（2）与所述校具本体（1）之间可定位配合； 所述校具本体（1）上安装有距离检测单元（9），用于检测所述校具本体（1）在下放过程中与所述校验台（2）之间的实时连续高度变化，生成实际离地高度变化曲线L1； 所述校具本体（1）内的主控单元（3）将所述实际离地高度变化曲线L1与预先所测得符合精度要求的自动物料传输设备标准离地高度变化曲线L2进行叠加，将时间轴对齐之后截取同一时间点计算对应时间点下二者间高度差值ΔL； 所述标准离地高度变化曲线L2为符合精度要求的自动物料传输设备在下放所述校具本体（1）完全放置平稳状态下所测得平滑且连续的高度变化数据曲线; 所述主控单元（3）根据ΔL是否超出预设范围，判定自动物料传输设备的执行精度是否失效：若ΔL未超出预设，则说明被检测自动物料传输设备执行精度符合使用要求，反之则说明被检测的自动物料传输设备执行精度误差已超出所允许范围，并将报警信息发送上位机提醒。

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