恭喜苏州玖物智能科技股份有限公司杨欢获国家专利权
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龙图腾网恭喜苏州玖物智能科技股份有限公司申请的专利石墨舟的硅片拍舟方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119920734B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510377379.6,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权石墨舟的硅片拍舟方法、装置、设备及存储介质是由杨欢;王宏军;李国;冯瑞;孟亚军;王祥峰;杭太鹏设计研发完成,并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本石墨舟的硅片拍舟方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了:本申请实施例公开了一种石墨舟的硅片拍舟方法、装置、设备及存储介质,属于硅片生产技术领域,该方法包括:采用第一拍舟频率,对第一翘片区域进行拍舟处理;基于拍舟处理后的第一翘片区域,确定第二翘片区域;采用第二拍舟频率对第二翘片区域进行拍舟处理。本申请中提供了一种针对石墨舟的自动化拍舟方法,不需要人工将硅片拍平整,降低了硅片生产过程中的人力成本,多次拍舟提高了拍舟成功率,提高了拍舟的灵活性。
本发明授权石墨舟的硅片拍舟方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种石墨舟的硅片拍舟方法,其特征在于,所述方法包括: 采用第一拍舟频率,对第一翘片区域进行拍舟处理;其中,第一翘片区域是指基于石墨舟获取的包括至少一个硅片翘片的区域,所述第一翘片区域中包括至少一个第一翘片子区域,所述第一翘片子区域中包括至少一个硅片翘片; 基于拍舟处理后的第一翘片区域,确定第二翘片区域;其中,所述第二翘片区域包括至少一个硅片翘片; 采用第二拍舟频率对所述第二翘片区域进行拍舟处理,所述第二拍舟频率大于所述第一拍舟频率; 其中,所述采用第一拍舟频率,对第一翘片区域进行拍舟处理,包括: 对于所述第一翘片区域中紧邻已拍舟的第一相邻子区域的未拍舟的第一目标子区域,获取所述第一相邻子区域与所述第一目标子区域之间的距离; 基于所述第一相邻子区域与所述第一目标子区域之间的距离,确定第一移动速度,所述第一移动速度是指移动至所述第一目标子区域的平均速度; 在移动至所述第一目标子区域的情况下,采用所述第一拍舟频率对所述第一目标子区域进行拍舟处理; 从所述第一翘片区域中,将紧邻所述第一目标子区域的未拍舟的第一翘片子区域确定为第二相邻子区域; 将所述第二相邻子区域确定为新的第一目标子区域;以及,从所述获取所述第一相邻子区域与所述第一目标子区域之间的距离的步骤开始重复执行,直至所述第一翘片区域不包括未拍舟的所述第一翘片子区域。
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