华芯程(杭州)科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉华芯程(杭州)科技有限公司申请的专利光刻像差校准方法、装置、存储介质及电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119781259B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510281741.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光刻像差校准方法、装置、存储介质及电子设备是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻像差校准方法、装置、存储介质及电子设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种光刻像差校准方法、装置、存储介质及电子设备，其中，该光刻像差校准方法包括获取孤立掩模图像；基于孤立掩模图像，采用仿真软件生成光刻成像的初始仿真图像训练集；对初始仿真图像训练集中的仿真图像进行傅里叶变换及频域截断，得到目标仿真图像训练集；构建目标仿真图像训练集与泽尼克系数的线性回归矩阵；基于线性回归矩阵和最小二乘法计算实测光刻图像的泽尼克系数，以对光刻像差进行校准。本方案可以提高光刻像差校准的效率。
本发明授权光刻像差校准方法、装置、存储介质及电子设备在权利要求书中公布了：1.一种光刻像差校准方法，其特征在于，包括： 获取孤立掩模图像； 设定光刻条件和泽尼克系数组，所述泽尼克系数组包括若干组泽尼克系数； 通过仿真软件计算所述孤立掩模图像在所述光刻条件下，每组所述泽尼克系数的平面光强分布图； 将若干所述平面光强分布图作为初始仿真图像训练集； 利用傅里叶变换，将所述初始仿真图像训练集中的每个所述平面光强分布图由空域图像转换为频域图像； 根据光学系统的有效频率范围，对每个所述频域图像进行截断，所述有效频率范围为，其中，为相干因子，用于描述光源的相干性； 基于傅里叶逆变换，将截断后的所述频域图像转换为空域图像； 将若干所述空域图像作为目标仿真图像训练集； 采用主成分分析法提取所述目标仿真图像训练集的特征值和特征向量； 基于若干所述特征值的大小排序，对若干所述特征向量进行特征提取，得到目标特征向量； 构建所述目标特征向量与所述泽尼克系数的线性回归矩阵； 对实测光刻图像进行傅里叶变换及频域截断，得到实测空域图像； 采用最小二乘法对所述实测空域图像和所述线性回归矩阵进行拟合，得到实测光刻图像的泽尼克系数，并基于所述实测光刻图像的泽尼克系数对光刻像差进行校准。
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