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龙图腾网获悉西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)申请的专利用于晶圆键合设备中的视觉对位装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119480751B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510073666.8，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权用于晶圆键合设备中的视觉对位装置是由王成君;杨晓东;王涛;王玉亮;刘红雨;张红梅;乔丽;张泽义设计研发完成，并于2025-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于晶圆键合设备中的视觉对位装置在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆键合技术领域，具体涉及一种用于晶圆键合设备中的视觉对位装置，主要解决现有视觉对位装置存在的体积偏大的技术问题。所述用于晶圆键合设备中的视觉对位装置包括箱体，通过设于箱体侧壁的操作窗口实现与机械手的对接，箱体内设有龙门架，通过将上静电吸盘和光学机构设于龙门架上，将下静电吸盘通过安装架和对位驱动件安装在龙门架内，将顶针机构安装在安装架上，同时将预键合驱动件贯穿对位驱动件和下静电吸盘的中部设置，使得各部分结构能够独立动作且互不干涉，结构紧凑度较高，从而使得装置的体积更小，能够适用于空间受限的场景使用，同时也能够避免抽真空工作量的增加。

本发明授权用于晶圆键合设备中的视觉对位装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆键合设备中的视觉对位装置，其特征在于，包括： 机架（1）； 箱体（2），其固定在所述机架（1）上且形成密闭的对位腔体（21），所述箱体（2）的侧壁设有操作窗口（22），所述操作窗口（22）安装有开闭阀门； 龙门架（3），其固定于所述对位腔体（21）内； 上静电吸盘（4），其固定于所述龙门架（3）的顶梁下方； 对位驱动件（5），其位于所述龙门架（3）内，所述对位驱动件（5）包括六轴平台（52）和压电平台（53），所述六轴平台（52）的底部固定在所述箱体（2）的底壁上，所述压电平台（53）包括底座和输出部，所述压电平台（53）的底座连接在所述六轴平台（52）的顶部上，所述压电平台（53）的输出部通过压电驱动结构安装在压电平台（53）的底座上，所述压电平台（53）的输出部作为所述对位驱动件（5）的输出部且用以输出空间六自由度运动； 下静电吸盘（6），其通过安装架（61）间接固定于所述对位驱动件（5）的输出部上方； 顶针机构（7），其包括升降板（71），所述升降板（71）位于所述下静电吸盘（6）的下方，所述下静电吸盘（6）设有沿周向分布的至少三个顶升孔（62），所述升降板（71）上对应顶升孔（62）设有针体（72），所述升降板（71）安装在所述安装架（61）上且被驱动能竖直升降以使针体（72）穿过顶升孔（62）顶升上晶圆或下晶圆； 预键合驱动件（8），其壳体固定在机架（1）上且位于所述箱体（2）的下方，所述预键合驱动件（8）的输出轴密封贯穿所述箱体（2）的底壁，所述对位驱动件（5）的中部设有竖向布置的第一避让孔（51），所述下静电吸盘（6）的中部设有竖向布置的第二避让孔（63），所述预键合驱动件（8）的输出轴用以依次贯穿第一避让孔（51）和第二避让孔（63）后顶升下晶圆； 光学机构（9），其安装在所述龙门架（3）上，所述下静电吸盘（6）和或上静电吸盘（4）开设有成像窗口（91），所述光学机构（9）用以通过所述成像窗口（91）获取上晶圆图像和下晶圆图像。

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