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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所胡海翔获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利双工况干涉检测装置及光学元件检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119665805B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411865844.2,技术领域涉及:G01B9/02;该发明授权双工况干涉检测装置及光学元件检测方法是由胡海翔;谭敏;李明茁;周满;张学军设计研发完成,并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。

双工况干涉检测装置及光学元件检测方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种双工况干涉检测装置及光学元件检测方法,涉及光学干涉检测领域,用于解决使检测时光学元件的状态与光学元件使用时状态一致的问题。装置包括:检测单元,包括工作台、第一标准元件及第二标准元件,工作台定位被测元件,使第一标准元件处于被测元件的第一侧,第二标准元件处于被测元件的第二侧;干涉装置,用于出射光束并获取来自光束传输组件的参考波和反射波,以获得被测元件被测面的面形检测结果;光束传输组件,用于传输光束,使光束入射至第一标准元件或第二标准元件以及使来自第一标准元件或第二标准元件的参考波和反射波传输至干涉装置。本发明可使对光学元件检测时光学元件的状态与光学元件使用时状态一致,减小测量误差。

本发明授权双工况干涉检测装置及光学元件检测方法在权利要求书中公布了:1.一种双工况干涉检测装置,其特征在于,包括: 检测单元,包括工作台、第一标准元件以及第二标准元件,所述工作台用于定位被测元件,所述第一标准元件、所述第二标准元件分别设置于所述工作台的两侧,使得所述第一标准元件处于所述被测元件的第一侧,所述第二标准元件处于所述被测元件的第二侧,所述第一标准元件用于使入射至所述第一标准元件的光束至少部分被反射而形成第一参考波,以及至少部分透过所述第一标准元件,若所述被测元件的被测面处于所述被测元件的第一侧,透过所述第一标准元件的光束入射至所述被测面,被所述被测面反射而形成第一反射波,所述第二标准元件用于使入射至所述第二标准元件的光束至少部分被反射而形成第二参考波,以及至少部分透过所述第二标准元件,若所述被测元件的被测面处于所述被测元件的第二侧,透过所述第二标准元件的光束入射至所述被测面,被所述被测面反射而形成第二反射波; 干涉装置,用于出射光束,并获取来自光束传输组件的所述第一参考波和所述第一反射波或者所述第二参考波和所述第二反射波,以获得所述被测元件的被测面的面形检测结果; 所述光束传输组件,设置于所述干涉装置的出光侧,用于传输所述光束,使所述光束入射至所述第一标准元件或者所述第二标准元件,以及使来自所述第一标准元件的所述第一参考波和所述第一反射波传输至所述干涉装置,或者使来自所述第二标准元件的所述第二参考波和所述第二反射波传输至所述干涉装置; 所述光束传输组件用于使所述光束沿第一路径传输时入射至所述第一标准元件,所述光束沿第二路径传输时入射至所述第二标准元件;所述光束传输组件包括:第一折转元件,设置于所述第一路径和所述第二路径的交汇处,且可移入和移出所述第一路径和所述第二路径的交汇处,所述第一折转元件移出时,所述光束沿所述第一路径所述第二路径传输而入射至所述第一标准元件所述第二标准元件,所述第一折转元件移入时,所述光束被所述第一折转元件折转,并沿所述第二路径所述第一路径传输而入射至所述第二标准元件所述第一标准元件。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,其通讯地址为:130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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