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龙图腾网获悉楚赟精工科技(上海)有限公司申请的专利承载基座传送方法及半导体加工系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119560423B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411552202.7，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权承载基座传送方法及半导体加工系统是由王东兴;陈凯辉;刘超设计研发完成，并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本承载基座传送方法及半导体加工系统在说明书摘要公布了：本申请提供一种承载基座传送方法及半导体加工系统。半导体加工系统包括转运装置、中转室、主控装置和至少二个工艺室。中转室内设有可调节承载区域尺寸的缓存装置。承载基座传送方法中，主控装置获取并通过接收到的至少一工艺室的信息判断需要执行承载基座转出步骤的工艺室；主控装置控制转运装置将工艺室中的承载基座向中转室转运，主控装置获取并根据接收到的承载基座的尺寸信息控制缓存装置调节承载区域尺寸以与承载基座尺寸相适配；主控装置控制转运装置将承载基座放置在已调整好承载区域尺寸的缓存装置上，使不同尺寸承载基座转运集中在一条产线进行，且同一缓存装置可以容纳不同尺寸承载基座，提高各缓存装置的存储灵活性及利用率。

本发明授权承载基座传送方法及半导体加工系统在权利要求书中公布了：1.一种承载基座传送方法，其特征在于，包括： S0、提供半导体加工系统； 所述半导体加工系统至少包括转运装置、中转室、至少二个工艺室和主控装置；所述中转室内设置有用于放置承载基座且可调节承载区域尺寸的缓存装置；各所述工艺室内容纳有承载基座，至少部分所述工艺室所容纳的所述承载基座的尺寸不同，所述主控装置与各所述工艺室、所述转运装置、所述缓存装置通信连接； S1、所述主控装置获取并通过接收到的至少一所述工艺室的信息判断需要执行承载基座转出步骤的所述工艺室； S2、所述主控装置控制所述转运装置将所述工艺室中的所述承载基座向所述中转室转运，所述主控装置获取并根据接收到的所述承载基座的尺寸信息控制所述缓存装置调节承载区域尺寸以与所述承载基座尺寸相适配； S3、所述主控装置控制所述转运装置将所述承载基座放置在已调整好承载区域尺寸的所述缓存装置上； 其中，所述主控装置存储有第一承重下限阈值和承重差减阈值范围，所述缓存装置包括呈放射状分布的若干直线位移机构，各所述直线位移机构滑动设置支撑座，各所述支撑座为可升降的支撑座并设置有与所述主控装置通信连接的承重传感装置； 所述步骤S3中，所述主控装置控制所述转运装置将所述承载基座放置在已调整好承载区域尺寸的所述缓存装置上的步骤包括： S31、所述主控装置控制所述转运装置将所述承载基座放置在已调整好承载区域尺寸的所述缓存装置上，并使所述转运装置维持与所述承载基座之间的持有关系； S32、所述主控装置获取并根据各所述承重传感装置发送的承重值，判断各所述支撑座的承重值大于等于所述第一承重下限阈值，且任意两所述支撑座的承重值之差在所述承重差减阈值范围内； S33、所述主控装置控制所述转运装置解除与所述承载基座之间的持有关系。

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