西安蓝桥新能源科技有限公司张鹏伟获国家专利权
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龙图腾网获悉西安蓝桥新能源科技有限公司申请的专利一种用于硅片制绒的添加剂、反应液及方法与应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119041032B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411523342.1,技术领域涉及:C30B33/10;该发明授权一种用于硅片制绒的添加剂、反应液及方法与应用是由张鹏伟;赵雅倩;冯萍萍;曹丽慧;黄自然;章浩然设计研发完成,并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于硅片制绒的添加剂、反应液及方法与应用在说明书摘要公布了:本发明属于硅片加工技术领域,涉及一种用于硅片制绒的添加剂、反应液及方法与应用。本发明提供了一种用于硅片制绒的添加剂,以质量百分比计,所述添加剂由:模板剂0.3~1.0%,缓蚀剂0.1~1.0%,表面活性剂0.1~1.0%,以及余量的去离子水构成;所述模板剂为分子量不低于10000Da的高分子聚合物中的至少一种,所述表面活性剂为阴离子型表面活性剂、烷基聚醚类表面活性剂中的至少一种。本发明提供的添加剂解决了硅片制绒时必须使用至少2个反应槽的技术问题。
本发明授权一种用于硅片制绒的添加剂、反应液及方法与应用在权利要求书中公布了:1.一种硅片一步制绒的方法,包括:将硅片进行预清洗,再经过清洗后进行制绒,其特征在于,所述制绒为一步制绒,包括:将硅片置于反应液中进行反应,所述反应的温度为60~90℃,时间为60s~420s; 所述反应液由浓度为1~3wt%的碱溶液和添加剂混合得到; 以质量百分比计,所述添加剂由:模板剂0.3~1.0%,缓蚀剂0.1~1.0%,表面活性剂0.1~1.0%,以及余量的去离子水构成; 所述模板剂为分子量不低于10000Da的高分子聚合物中的至少一种,所述表面活性剂为阴离子型表面活性剂、烷基聚醚类表面活性剂中的至少一种; 所述分子量不低于10000Da的高分子聚合物选自聚二甲基二烯丙基氯化铵、聚丙烯酰胺、聚乙二醇、阿拉伯胶; 所述缓蚀剂选自聚天冬氨酸、巯基苯并噻唑钠、邻苯二酚; 所述阴离子型表面活性剂选自十二烷基苯磺酸钠、木质素磺酸钠; 所述烷基聚醚类表面活性剂选自烷基糖苷、聚乙二醇醚; 所述去离子水电阻率大于18MΩ。
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