拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司张家川获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请的专利一种加热盘表面形变在线检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223037114U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422309837.6，技术领域涉及：G01B11/16；该实用新型一种加热盘表面形变在线检测装置是由张家川;赵聪;王新宇设计研发完成，并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种加热盘表面形变在线检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种加热盘表面形变在线检测装置，其包括：密封盖组件，密封盖组件的顶部设有用于信号检测的透明窗；支架组件，支架组件的底部连接于密封盖组件的边缘；转台组件，转台组件连接于支架组件的顶部，以及传感器组件，传感器组件连接于转台组件，用于受控转台组件旋转以对位于密封盖组件内的加热盘进行扫描检测。其将传感器组件通过支架组件转动设置于密封盖组件的上方，由编码器组件控制传感器的采样频率，传感器由转台组件驱动旋转，从而完成对加热盘的上盘面的旋转扫描检测，并且传感器能够根据检测半径灵活调节，其兼容性更高，自动化程度高，检测灵活方便，能在真空且温度逐渐变化的过程中监测加热盘的表面变形情况。
本实用新型一种加热盘表面形变在线检测装置在权利要求书中公布了：1.一种加热盘表面形变在线检测装置，其特征在于，包括： 密封盖组件，所述密封盖组件的顶部设有用于信号透过的透明窗； 支架组件，所述支架组件的底部连接于所述密封盖组件的边缘； 转台组件，所述转台组件连接于所述支架组件的顶部，以及 传感器组件，所述传感器组件连接于所述转台组件，用于受控所述转台组件旋转以对位于所述密封盖组件内的加热盘进行扫描检测。
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