浙江创芯集成电路有限公司龙飞飞获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利半导体设备及其供气管路、供气系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223036197U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422279277.4，技术领域涉及：F17D1/04；该实用新型半导体设备及其供气管路、供气系统是由龙飞飞设计研发完成，并于2024-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体设备及其供气管路、供气系统在说明书摘要公布了：本公开实施例提供一种半导体设备及其供气管路、供气系统，其中，供气管路，包括至少一个供气支路，所述供气支路包括：具有入气口和第一出气口的供气管道，其中，所述入气口与气源连通；设置于所述供气管道上，选通所述入气口和所述第一出气口之间的管道的第一开关器件；设置于所述供气管道上，位于所述第一开关器件和所述第一出气口之间第一调压器件；设置于所述供气管道上，位于所述第一调压器件和所述第一出气口之间，选通所述第一调压器件和所述第一出气口之间的管道的第二开关器件。采用上述技术方案，能够降低输出至晶圆的气源的压强，进而提高晶圆加工质量。
本实用新型半导体设备及其供气管路、供气系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备的供气管路，其特征在于，包括至少一个供气支路，所述供气支路包括： 具有入气口和第一出气口的供气管道，其中，所述入气口与气源连通； 设置于所述供气管道上，选通所述入气口和所述第一出气口之间的管道的第一开关器件； 设置于所述供气管道上，位于所述第一开关器件和所述第一出气口之间第一调压器件； 设置于所述供气管道上，位于所述第一调压器件和所述第一出气口之间，选通所述第一调压器件和所述第一出气口之间的管道的第二开关器件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江创芯集成电路有限公司，其通讯地址为：311200 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设三路733号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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