和舰芯片制造(苏州)股份有限公司朱小忠获国家专利权
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龙图腾网获悉和舰芯片制造(苏州)股份有限公司申请的专利一种用于磁悬浮分子泵泵口的法兰获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223035286U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422256477.8,技术领域涉及:F04D19/04;该实用新型一种用于磁悬浮分子泵泵口的法兰是由朱小忠;张磊;张建圣;吴建璋设计研发完成,并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于磁悬浮分子泵泵口的法兰在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于磁悬浮分子泵泵口的法兰,法兰通过密封圈和紧固件与磁悬浮分子泵泵口固定连接,其中,法兰为环形,法兰的内环边缘设置有斜切面。本实用新型在现有设备的基础上,对法兰两侧边缘采用斜切口设计,从而减少法兰对气体流量方向及速率的影响,也能够实现制程产物不会沉积在法兰与转子的交界处,且在大量制备砷烷后,不会出现转子故障的情况,可延长转子更换周期,降低成本。
本实用新型一种用于磁悬浮分子泵泵口的法兰在权利要求书中公布了:1.一种用于磁悬浮分子泵泵口的法兰,所述法兰通过密封圈和紧固件与所述磁悬浮分子泵泵口固定连接,其特征在于,所述法兰为环形,所述法兰的内环边缘设置有斜切面。
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