常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司冯磊获国家专利权
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龙图腾网获悉常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司申请的专利一种CVD炉用分体式进气管获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223033448U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422253140.1,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型一种CVD炉用分体式进气管是由冯磊设计研发完成,并于2024-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种CVD炉用分体式进气管在说明书摘要公布了:本实用新型涉及CVD炉技术领域,且公开了一种CVD炉用分体式进气管,第一固定环套接于进气管主体的外侧,两个第一连接螺栓贯穿于第一固定环的上下两侧,两个第一弧形板分别活动连接于两个第一连接螺栓的一端,第一固定环的一侧安装有第二固定环,第二固定环的上下两侧均活动连接有第二连接螺栓,第二连接螺栓的一端活动连接有第二弧形板;本实用新型通过正向旋转第一连接螺栓和第二连接螺栓,使得第一连接螺栓和第二连接螺栓分别带动第一弧形板和第二弧形板的一端分别抵触在进气管主体和进气内管的外侧,即可完成进气内管的居中固定,而且能够对不同管径的进气管主体和进气内管进行固定,从而方便进气管的使用。
本实用新型一种CVD炉用分体式进气管在权利要求书中公布了:1.一种CVD炉用分体式进气管,包括进气管主体1,其特征在于:所述进气管主体1的内部安装有进气内管2,所述进气管主体1的外侧设置有进气外管3,所述进气管主体1的一端设置有居中组件; 所述居中组件包括第一固定环4、数量为两个的第一连接螺栓5和数量为两个的第一弧形板6,所述第一固定环4套接于进气管主体1的外侧,两个所述第一连接螺栓5贯穿于第一固定环4的上下两侧,两个所述第一弧形板6分别活动连接于两个所述第一连接螺栓5的一端,所述第一固定环4的一侧安装有第二固定环10,所述第二固定环10的上下两侧均活动连接有第二连接螺栓11,所述第二连接螺栓11的一端活动连接有第二弧形板12。
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