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常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司冯磊获国家专利权

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龙图腾网获悉常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司申请的专利一种分体式CVD进出炉载具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223033453U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422257581.9,技术领域涉及:C23C16/458;该实用新型一种分体式CVD进出炉载具是由冯磊设计研发完成,并于2024-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。

一种分体式CVD进出炉载具在说明书摘要公布了:本申请提供了一种分体式CVD进出炉载具,包括载筒,所述载筒一端螺纹连接有第一密封端盖,所述第一密封端盖侧壁设置有第二密封端盖,所述第一密封端盖内滑动连接有滑动板,所述滑动板上转动连接有连接杆,所述连接杆一端固定连接有连接板,所述连接板一端固定连接有载物板,所述载物板与载筒滑动连接,所述第二密封端盖上转动连接有螺杆,所述螺杆上螺纹连接有移动环,所述移动环外壁铰接有推动板,所述推动板另一端铰接有辅助板,所述辅助板一端固定安装有插块;本载具在使用时,不光端盖可快速取下和安装,而且在取下端盖的同时,端盖可直接带动物料移动出来,方便把化学气相沉积后的物料取出,不需要工作人员将手臂伸载具内进行拿取。

本实用新型一种分体式CVD进出炉载具在权利要求书中公布了:1.一种分体式CVD进出炉载具,包括载筒1,其特征在于,所述载筒1一端螺纹连接有第一密封端盖2,所述第一密封端盖2侧壁设置有第二密封端盖3,所述第一密封端盖2内滑动连接有滑动板4,所述滑动板4上转动连接有连接杆5,所述连接杆5一端固定连接有连接板6,所述连接板6一端固定连接有载物板7,所述载物板7与载筒1滑动连接,所述第二密封端盖3上转动连接有螺杆8,所述螺杆8上螺纹连接有移动环9,所述移动环9外壁铰接有推动板10,所述推动板10另一端铰接有辅助板11,所述辅助板11一端固定安装有插块12。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司,其通讯地址为:213100 江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区龙惠路7号D栋北一楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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