芯恩(青岛)集成电路有限公司杨晓燕获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种用于晶圆薄膜沉积的炉管获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223033447U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422206446.1，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种用于晶圆薄膜沉积的炉管是由杨晓燕;林晓涵;李小乐;娄培阳设计研发完成，并于2024-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆薄膜沉积的炉管在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种用于晶圆薄膜沉积的炉管，包括：炉体，具有环形设置的炉壁，所述炉壁的直径从所述炉体的底部至所述炉体的顶部逐渐减小，所述炉壁靠近所述炉体的底部上开设有进气孔和出气孔；晶舟，可转动的设于所述炉体内，所述晶舟用于承载晶圆。在本实用新型提供的用于晶圆薄膜沉积的炉管通过将炉体的炉壁倾斜设置，以使炉壁的直径从炉体的底部至炉体的顶部逐渐减小，当通过进气孔在炉体内通入反应气体时，会使位于炉体顶部的气压大于炉体底部气压，从而增加了反应气体的气流流经炉体顶部时的压力，有效解决了晶舟内晶圆沉积薄膜厚度分布不均匀的问题，提高了晶圆薄膜生长的均匀性，保证了后续产品的良率。
本实用新型一种用于晶圆薄膜沉积的炉管在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆薄膜沉积的炉管，其特征在于，包括： 炉体，具有环形设置的炉壁，所述炉壁的直径从所述炉体的底部至所述炉体的顶部逐渐减小，所述炉壁靠近所述炉体的底部上开设有进气孔和出气孔； 晶舟，可转动的设于所述炉体内，所述晶舟用于承载晶圆； 还包括设于所述炉体内的分压套； 所述分压套套设于所述晶舟，且所述分压套的直径从所述炉体的底部至所述炉体的顶部逐渐减小，所述分压套用于调节所述炉体内的气压。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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