苏州光越微纳科技有限公司张佳其获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州光越微纳科技有限公司申请的专利晶圆吸附装置及具有该装置的真空纳米压印设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223038909U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422201141.1，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型晶圆吸附装置及具有该装置的真空纳米压印设备是由张佳其;史晓华设计研发完成，并于2024-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆吸附装置及具有该装置的真空纳米压印设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种晶圆吸附装置及具有该装置的真空纳米压印设备，晶圆吸附装置包括：压合板、环状吸盘安装板、顶块，压合板与压合升降驱动机构传动连接，环状吸盘安装板套设于压合板的外侧，且环状吸盘安装板上沿其周向安装有若干吸盘，吸盘用于吸附待压印晶圆的边缘位置，环状吸盘安装板与吸盘升降驱动机构传动连接，顶块与顶块升降驱动机构传动连接，顶块用于穿过压合板上的通孔给吸盘吸附的晶圆的中心区域以向下压力，使其发生形变。采用本实用新型使晶圆发生形变，晶圆的中心区域先贴合母板，边缘后贴合母板，防止气泡的产生，纳米压印的效果更佳。
本实用新型晶圆吸附装置及具有该装置的真空纳米压印设备在权利要求书中公布了：1.晶圆吸附装置，其特征在于，包括： 压合板，所述压合板与压合升降驱动机构传动连接，所述压合升降驱动机构用于带动压合板升降； 环状吸盘安装板，所述环状吸盘安装板套设于压合板的外侧，且所述环状吸盘安装板上沿其周向安装有若干吸盘，所述吸盘用于吸附待压印晶圆的边缘位置，所述环状吸盘安装板与吸盘升降驱动机构传动连接，所述吸盘升降驱动机构用于带动环状吸盘安装板升降； 顶块，所述顶块与顶块升降驱动机构传动连接，且在所述压合板上安装有通孔，所述顶块升降驱动机构用于带动顶块升降，所述顶块用于穿过压合板上的通孔给吸盘吸附的晶圆的中心区域以向下压力，使其发生形变。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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