合肥博雷电气有限公司刘凯获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥博雷电气有限公司申请的专利微波等离子体处理装置及其机盖获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223038893U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422118672.4，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型微波等离子体处理装置及其机盖是由刘凯;王少波;赵玉莲;赵士国;段浩波;胡永康;王健;朱洪硕设计研发完成，并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本微波等离子体处理装置及其机盖在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种微波等离子体处理装置及其机盖，机盖用于和微波等离子体处理装置的反应腔壳体盖合配合。机盖包括盖体以及微波源，微波源包括间隔开分布的至少两个。盖体包括顶板和侧板，顶板和侧板连接围合形成有容纳腔。微波源位于容纳腔内，并且可移动地安装至盖体，微波源的背离顶板一侧连接有馈电构件，用于输出微波。本实用新型的微波等离子体处理装置通过将微波源直接集成布置在机盖的盖体上，缩短了微波的传输路径，减少了波导器件的使用，能够有效减少微波传输损耗，也使得微波等离子体处理装置的结构更加紧凑，减小空间占用；其次微波源的数量至少有两个，且分别可以在容纳腔内移动，提高了微波等离子体处理装置的灵活性。
本实用新型微波等离子体处理装置及其机盖在权利要求书中公布了：1.一种微波等离子体处理装置的机盖，用于和微波等离子体处理装置的反应腔壳体盖合配合，其特征在于，所述机盖包括： 盖体，所述盖体包括顶板和侧板，所述顶板和所述侧板连接围合形成有容纳腔；以及 微波源，所述微波源位于所述容纳腔内，并且可移动地安装至所述盖体，所述微波源的背离所述顶板一侧连接有馈电构件，用于输出微波； 其中，所述微波源包括间隔开分布的至少两个。
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