海创智能装备(烟台)有限公司张文庆获国家专利权
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龙图腾网获悉海创智能装备(烟台)有限公司申请的专利一种晶圆键合系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223038906U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422118444.7，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆键合系统是由张文庆;杨云春设计研发完成，并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆键合系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆键合系统，属于半导体器件技术领域。所述晶圆键合系统包括多个键合模块、移送通道、晶圆上下料区、预定位模块、冷却模块、等离子活化模块和清洁模块，多个所述键合模块、所述晶圆上下料区、预定位模块、冷却模块、等离子活化模块和清洁模块分别设置在所述移送通道的两侧。不仅能够同时支持晶圆热压键合、等离子活性化直接键合及阳极键合工艺，而且其布局设计节省了空间，便于根据生产需求进行灵活调整；采用单一搬运机器人沿直线导轨在移送通道内往复移动，实现了晶圆的高效搬运，降低了设备成本及运营过程中的能耗与人力投入，晶圆上下料区能够集中管理上晶圆、下晶圆及键合后的晶圆，简化了操作流程，降低了管理成本。
本实用新型一种晶圆键合系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆键合系统，其特征在于，包括多个键合模块、移送通道300、晶圆上下料区400、预定位模块500、冷却模块600、等离子活化模块700和清洁模块800，多个所述键合模块、所述晶圆上下料区400、预定位模块500、冷却模块600、等离子活化模块700和清洁模块800分布在所述移送通道300的周围； 所述键合模块内均设有键合设备900； 所述移送通道300内设有直线导轨，所述直线导轨上设有搬运机器人310，所述搬运机器人310能够沿所述直线导轨往复移动实现晶圆的移送； 所述晶圆上下料区400用于晶圆的装载、卸载及键合完成品的存储； 所述预定位模块500用于初步校正晶圆的方向； 所述冷却模块600用于在晶圆键合过程中或键合后对晶圆进行温度控制； 所述等离子活化模块700用于对晶圆的表面进行等离子体活化处理； 所述清洁模块800用于对晶圆表面进行清洁。
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