苏州富芯峰半导体设备有限公司乔涛涛获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州富芯峰半导体设备有限公司申请的专利一种大尺寸晶圆的超声波清洗机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223038905U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422091907.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种大尺寸晶圆的超声波清洗机构是由乔涛涛;陈林林设计研发完成，并于2024-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大尺寸晶圆的超声波清洗机构在说明书摘要公布了：本申请提供一种大尺寸晶圆的超声波清洗机构，其包括壳体、喷淋组件、夹持件和超声波系统，其中：夹持件位于壳体内部，夹持件被配置为支撑晶圆使其沿第一方向保持稳固；喷淋组件位于晶圆上方，喷淋组件包括沿第一方向设置的两根喷液管，喷液管被配置为输送清洗液，喷液管上沿第一方向朝向晶圆设置有若干喷嘴，两根喷液管沿第二方向水平并列设置；超声波系统位于晶圆两侧，超声波系统被配置为对晶圆表面的清洗液施加超声波振动。通过夹持件将晶圆固定后，喷淋组件将清洗液喷洒至晶圆表面，超声波系统对晶圆正反两面的清洗液同时作超声波振动，从而有效地去除晶圆表面的杂质，不仅提高了清洗的效率和洁净度，而且避免了人工翻面带来的潜在污染风险。
本实用新型一种大尺寸晶圆的超声波清洗机构在权利要求书中公布了：1.一种大尺寸晶圆的超声波清洗机构，其特征在于，所述大尺寸晶圆的超声波清洗机构包括壳体、喷淋组件、夹持件和超声波系统，其中： 所述夹持件位于所述壳体内部，所述夹持件被配置为支撑晶圆使其沿第一方向保持稳固； 所述喷淋组件位于所述晶圆上方，所述喷淋组件包括沿所述第一方向设置的两根喷液管，所述喷液管被配置为输送清洗液，所述喷液管上沿所述第一方向朝向所述晶圆设置有若干喷嘴，所述喷嘴被配置为喷洒清洗液至所述晶圆上，两根所述喷液管沿第二方向水平并列设置； 所述超声波系统位于所述晶圆两侧，所述超声波系统被配置为对晶圆表面的清洗液施加超声波振动以实现高效清洗。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州富芯峰半导体设备有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市昆山开发区澄湖路58号12幢1楼车间北和1楼隔层北；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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