苏州富芯峰半导体设备有限公司乔涛涛获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州富芯峰半导体设备有限公司申请的专利一种抛动式晶圆清洗机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223038904U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422079201.7，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种抛动式晶圆清洗机构是由乔涛涛设计研发完成，并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种抛动式晶圆清洗机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种抛动式晶圆清洗机构，其包括基座、第一驱动件、传动机构和承载件，第一驱动件的固定端安装在基座上，第一驱动件的驱动端连接传动机构的第一端，传动机构的第二端连接承载件，第一驱动件被配置为通过传动机构驱动所述承载件升降；承载件被配置为承载装有晶圆的晶盒，晶盒内的晶圆位于清洗液的液面之下；上述抛动式晶圆清洗机构采用第一驱动件配合传动机构的方式驱动承载件升降，带动装有晶圆的晶盒上下抛动，进而对晶盒内的晶圆进行清洗，不仅结构紧凑、占用空间小，而且清洗效果好，清洗效率高。
本实用新型一种抛动式晶圆清洗机构在权利要求书中公布了：1.一种抛动式晶圆清洗机构，其特征在于，所述抛动式晶圆清洗机构包括基座、第一驱动件、传动机构和承载件，其中： 所述第一驱动件的固定端安装在所述基座上，所述第一驱动件的驱动端连接传动机构的第一端，所述传动机构的第二端连接所述承载件，所述第一驱动件被配置为通过所述传动机构驱动所述承载件升降； 所述承载件被配置为承载装有晶圆的晶盒，所述晶盒内的晶圆位于清洗液的液面之下； 所述第一驱动件驱动所述承载件升降，以带动装有晶圆的所述晶盒上下抛动，进而对所述晶盒内的晶圆进行清洗。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州富芯峰半导体设备有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市昆山开发区澄湖路58号12幢1楼车间北和1楼隔层北；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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