北京兆维科技开发有限公司陈雪锋获国家专利权
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龙图腾网获悉北京兆维科技开发有限公司申请的专利一种晶圆宏观缺陷检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223037840U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422076200.7，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型一种晶圆宏观缺陷检测设备是由陈雪锋;商守海;牛怡川;张月涛;曹清朋;李旭阳;杨阳;李伟设计研发完成，并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆宏观缺陷检测设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆宏观缺陷检测设备，属于晶圆制造技术领域，包括有机架，所述机架上设置有Y轴运动单元，所述Y轴运动单元的运动端安装有X轴运动单元，所述X轴运动单元的运动端安装有吸附平台，所述吸附平台上开设有两个以上呈同心圆状的吸附槽，所述机架一侧设置有用于向所述吸附平台放置晶圆的传片单元；所述机架上方设置有Z轴运动单元，所述Z轴运动单元的运动端设置有检测单元。本实用新型的有益效果是：通过Y轴运动单元和X轴运动单元快速对位，配合检测单元对晶圆进行缺陷检查，提升检测效率，提高晶圆生产质量，吸附平台的吸附槽可吸附不同尺寸的晶圆，兼容性强。
本实用新型一种晶圆宏观缺陷检测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆宏观缺陷检测设备，其特征在于，包括有机架1，所述机架1上设置有Y轴运动单元，所述Y轴运动单元的运动端安装有X轴运动单元，所述X轴运动单元的运动端安装有吸附平台2，所述吸附平台2上开设有两个以上呈同心圆状的吸附槽3，所述机架1一侧设置有用于向所述吸附平台2放置晶圆的传片单元； 所述机架1上方设置有Z轴运动单元，所述Z轴运动单元的运动端设置有检测单元。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京兆维科技开发有限公司，其通讯地址为：100015 北京市朝阳区酒仙桥路14号兆维工业园B区B5栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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