苏州中芯启恒科学仪器有限公司周朦获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州中芯启恒科学仪器有限公司申请的专利光刻工作台及光刻机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223038295U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422075370.3，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型光刻工作台及光刻机是由周朦;李鑫;王永锋;李新章设计研发完成，并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻工作台及光刻机在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种光刻工作台及光刻机，光刻工作台包括壳体、晶圆承载座、以及掩模架组件。壳体内具有一安装空间，所述壳体的侧面具有第一窗口；晶圆承载座可自所述第一窗口水平活动插接在所述安装空间内，所述晶圆承载座包括一用于放置晶圆的承片台；掩模架组件设置于所述壳体上且覆盖所述安装空间，所述掩模架组件包括一用于放置掩模版的掩模架，所述掩模架上形成有第二窗口，所述第二窗口暴露所述承片台。本实用新型的光刻工作台及光刻机，结构简单，操作便捷，水平推拉式的晶圆承载座的设置和真空吸附晶圆的方式，大大提高了工作效率。
本实用新型光刻工作台及光刻机在权利要求书中公布了：1.一种光刻工作台，其特征在于，包括： 壳体，其内具有一安装空间，所述壳体的侧面具有第一窗口； 晶圆承载座，可自所述第一窗口水平活动插接在所述安装空间内，所述晶圆承载座包括一用于放置晶圆的承片台； 掩模架组件，设置于所述壳体上且覆盖所述安装空间，所述掩模架组件包括一用于放置掩模版的掩模架，所述掩模架上形成有第二窗口，所述第二窗口暴露所述承片台。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州中芯启恒科学仪器有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市工业园区东富路45号联创产业园1幢5层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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