吉林华微电子股份有限公司姚锐获国家专利权
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龙图腾网获悉吉林华微电子股份有限公司申请的专利探针调节装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223038013U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422061659.X,技术领域涉及:G01R1/067;该实用新型探针调节装置是由姚锐;程国庆;王刚;孟鹤设计研发完成,并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本探针调节装置在说明书摘要公布了:本申请提供一种探针调节装置。探针调节装置包括固定座、探针固定组件、第一调整组件、第二调整组件、第三调整组件。探针固定组件用于固定探针。第一调整组件用于调整探针固定组件在第一方向上的移动距离。第二调整组件用于调整探针固定组件在第二方向的移动距离。第三调整组件用于调整所述探针固定组件在第三方向上的移动距离,其中,第一方向、第二方向及第三方向相交。如此,通过上述结构,能够调整探针到目标物体比如,硅片之间的距离。同时,可以直观读出探针在第三方向上的调整距离,进而计算出探针施加到硅片上的针压,确保其恰到好处的作用于硅片,从而保障硅片的质量和性能,提高生产效率。
本实用新型探针调节装置在权利要求书中公布了:1.一种探针调节装置,其特征在于,所述探针调节装置包括: 固定座; 探针固定组件,所述探针固定组件用于固定探针; 第一调整组件,位于所述固定座的一侧,用于调整所述探针固定组件在第一方向上的移动距离; 第二调整组件,设置在所述第一调整组件上,用于调整所述探针固定组件在第二方向的移动距离; 第三调整组件,所述第三调整组件的一端与所述探针固定组件固定,所述第三调整组件还与所述第二调整组件连接,用于调整所述探针固定组件在第三方向上的移动距离,其中,所述第一方向、所述第二方向及所述第三方向相交。
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