苏州富芯峰半导体设备有限公司乔涛涛获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州富芯峰半导体设备有限公司申请的专利一种水平式晶圆甩干机构及晶圆甩干机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223036772U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422024935.5，技术领域涉及：F26B11/08；该实用新型一种水平式晶圆甩干机构及晶圆甩干机是由乔涛涛;陈林林设计研发完成，并于2024-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种水平式晶圆甩干机构及晶圆甩干机在说明书摘要公布了：本申请提供一种水平式晶圆甩干机构及晶圆甩干机，水平式晶圆甩干机构包括第一驱动件、底板、转轴和旋转机构，其中：第一驱动件安装在底板下方，转轴居中穿过底板，第一驱动件驱动端连接转轴第一端；旋转机构位于底板上方，旋转机构包括固定板、承载盒、翻转组件和平行设置的两个侧板，两个侧板竖直固定在上下水平平行设置的两个固定板之间，转轴第二端与下方的固定板固定连接，两个侧板之间设置有n个承载盒，n为不小于2的偶数，承载盒被配置为承载晶圆，翻转组件与承载盒连接，翻转组件位于侧板外壁，翻转组件被配置为翻转承载盒，通过旋转机构水平设置，减少重力对晶圆的影响，使得甩干过程更加均匀有效，提高干燥效率。
本实用新型一种水平式晶圆甩干机构及晶圆甩干机在权利要求书中公布了：1.一种水平式晶圆甩干机构，其特征在于，所述水平式晶圆甩干机构包括第一驱动件、底板、转轴和旋转机构，其中： 所述第一驱动件安装在所述底板下方，所述转轴居中穿过所述底板，所述第一驱动件驱动端连接所述转轴第一端，所述第一驱动件被配置为驱动所述转轴转动； 所述旋转机构位于所述底板上方，所述旋转机构包括固定板、承载盒、翻转组件和平行设置的两个侧板，所述两个侧板竖直固定在上下水平平行设置的两个固定板之间，所述转轴第二端与下方的所述固定板固定连接，所述侧板被配置为承载所述翻转组件和所述承载盒，所述两个侧板之间设置有n个承载盒，n为不小于2的偶数，所述承载盒被配置为承载晶圆，所述翻转组件与所述承载盒连接，所述翻转组件位于所述侧板外壁，所述翻转组件被配置为翻转所述承载盒，使得所述旋转机构在旋转甩干时，所述承载盒开口相对设置。
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