西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)宋沛毅获国家专利权
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龙图腾网获悉西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)申请的专利一种PECVD设备晶圆抬升及放置装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223033450U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421994369.4，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种PECVD设备晶圆抬升及放置装置是由宋沛毅;王敏;康永新;朱江江;张永聪;张磊;卫晓冲;陈嘉荣;康冬妮;张慧俊;范新丽设计研发完成，并于2024-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PECVD设备晶圆抬升及放置装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种PECVD设备晶圆抬升及放置装置，包括腔体和支架，支架吊装在腔体下部，腔体内设置有加热器，腔体内底部开设有四个沉孔，沉孔内安装有弹簧，弹簧均匀分布在加热器的圆柱四周，弹簧上端放置有托盘，托盘滑动穿设在加热器的圆柱上，托盘上竖直固定分布有四根陶瓷支撑杆，陶瓷支撑杆滑动贯穿加热器，且陶瓷支撑杆上端伸出加热器上表面。该装置结构精简巧妙，节约设备制造成本；结构稳定可靠、水平易于调整，保证加热器在升降过程中沿竖直方向运动，通过传感器及硬极限进行双重限位保护，确保加热器在允许的行程范围内运行，安全可靠；通过调整抬升平台的调节螺栓对加热器水平进行校正，简单便捷。
本实用新型一种PECVD设备晶圆抬升及放置装置在权利要求书中公布了：1.一种PECVD设备晶圆抬升及放置装置，包括腔体和支架，支架吊装在腔体下部，其特征在于： 腔体内设置有加热器，加热器的圆柱竖直向下滑动穿出腔体下部，加热器的圆柱下端与支撑板连接，支撑板两侧分别安装有滑块，滑块与支架两侧的导轨滑动连接，其中一侧的滑块通过螺套与丝杠连接，丝杠竖直设置，丝杠上下两端与上限位块和下限位块连接，丝杠下端通过联轴器与伺服电机输出端连接； 腔体内底部开设有四个沉孔，沉孔内安装有弹簧，弹簧均匀分布在加热器的圆柱四周，弹簧上端放置有托盘，托盘滑动穿设在加热器的圆柱上，托盘上竖直固定分布有四根陶瓷支撑杆，陶瓷支撑杆滑动贯穿加热器，且陶瓷支撑杆上端伸出加热器上表面。
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