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龙图腾网获悉康克斯光电科技(苏州)有限公司申请的专利一种晶圆缺陷检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223037839U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421949242.0，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型一种晶圆缺陷检测设备是由陈梅霞设计研发完成，并于2024-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆缺陷检测设备在说明书摘要公布了：本发明属于晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆缺陷检测设备，包括底板，所述底板的顶部固定有第一支撑板，所述第一支撑板的一侧顶部固定有固定轴，所述固定轴的另一端阻尼转动安装有六边形盒体，所述固定轴的一端延伸到六边形盒体内固定有照射灯，所述六边形盒体的六个侧壁均设置有灯罩，每个灯罩的颜色不一，所述六边形盒体的外壁设置有多个可对灯罩保护的防护组件，所述底板的顶部且位于第一支撑板一侧设置有晶圆夹持组件；本发明能够使保护板自动打开和关闭，可对灯罩进行有效保护，防止灰尘粘黏在灯罩上，避免影响设备的正常使用。

本实用新型一种晶圆缺陷检测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆缺陷检测设备，其特征在于：包括底板1，所述底板1的顶部固定有第一支撑板2，所述第一支撑板2的一侧顶部固定有固定轴3，所述固定轴3的另一端阻尼转动安装有六边形盒体4，所述固定轴3的一端延伸到六边形盒体4内固定有照射灯5，所述六边形盒体4的六个侧壁均设置有灯罩6，所述六边形盒体4的外壁设置有多个可对灯罩6保护的防护组件，所述底板1的顶部且位于第一支撑板2一侧设置有晶圆夹持组件； 所述防护组件包括六边形盒体4的外壁且位于灯罩6一侧固定有多个第一安装板7，所述第一安装板7的一侧滑动安装有两个相对移动的防护板11，两个所述防护板11的一侧均固定有第一滑块8，所述第一安装板7的外壁开设有与第一滑块8滑动连接的第一滑槽9，所述第一滑槽9的内侧固定有第一弹簧10，所述第一弹簧10的另一端与第一滑块8的外壁固定，所述六边形盒体4的外壁且位于防护板11一侧固定有两个安装耳，两个所述安装耳的外壁之间转动安装有第一转轴15，所述第一转轴15的外壁固定有卷收辊16，所述卷收辊16的外壁设置有两个拉索17，两个所述拉索17的另一端与其中一个防护板11连接，所述第一转轴15的一端且穿过安装耳外壁固定有第二齿轮18，所述第一支撑板2的外壁固定有两个固定杆19，两个所述固定杆19的一端之间固定有与第二齿轮18啮合的弧形齿板20。

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