马森科技股份有限公司陈瑞腾获国家专利权
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龙图腾网获悉马森科技股份有限公司申请的专利晶圆传输装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223038901U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421954228.X，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型晶圆传输装置是由陈瑞腾设计研发完成，并于2024-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆传输装置在说明书摘要公布了：一种晶圆传输装置供承载一晶圆，包括有一本体以及三应变感测组件，所述本体具有相连接的一柄部及一承载部，所述承载部供承载所述晶圆，所述承载部具有二牙叉，所述二牙叉彼此间隔设置，所述本体具有相背对的一第一面及一第二面；所述三应变感测组件分别设置于所述二牙叉及所述柄部处，各所述应变感测组件包含二应变感测元件，各所述应变感测组件的所述二应变感测元件分别对称设置于所述第一面及所述第二面。
本实用新型晶圆传输装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传输装置，供承载一晶圆，其特征在于，包含： 一本体，具有相连接的一柄部及一承载部，所述承载部供承载所述晶圆，所述承载部具有二牙叉，所述二牙叉彼此间隔设置，所述本体具有相背对的一第一面及一第二面；以及 三应变感测组件，分别设置于所述二牙叉及所述柄部处，各所述应变感测组件包含二应变感测元件，各所述应变感测组件的所述二应变感测元件分别对称设置于所述第一面及所述第二面。
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